氮氧傳感器芯片老化裝置的研制.pdf

1、氮氧傳感器主要用來測(cè)量汽車尾氣中的NOx濃度，為汽車SCR后處理系統(tǒng)中尿素溶液的噴射量提供依據(jù)，使得汽車排放尾氣中的NOx含量達(dá)到國家排放標(biāo)準(zhǔn)。湖北丹瑞新材料有限公司在氮氧傳感器芯片的生產(chǎn)過程中，需要對(duì)芯片進(jìn)行檢測(cè)，其中老化檢測(cè)是檢測(cè)流程中必不可少的一項(xiàng)。老化檢測(cè)就需要用到本文所涉及的氮氧傳感器芯片老化裝置。
　　氮氧傳感器芯片的問題易在首次使用的幾個(gè)小時(shí)到幾十個(gè)小時(shí)的時(shí)間內(nèi)暴露出來，為了剔除這些不合格的芯片，需要對(duì)芯片老化（模擬

2、加熱）一段時(shí)間。此外，經(jīng)過實(shí)驗(yàn)證明，對(duì)芯片進(jìn)行一段時(shí)間的老化電壓循環(huán)加熱后，氮氧傳感器芯片的測(cè)量穩(wěn)定性會(huì)提高。因此，為了使生產(chǎn)出來的氮氧傳感器芯片獲得穩(wěn)定的工作性能，在氮氧傳感器芯片出廠前需要對(duì)其進(jìn)行老化加熱測(cè)試，而目前國內(nèi)尚未出現(xiàn)可用于生產(chǎn)的對(duì)氮氧傳感器芯片實(shí)現(xiàn)批量化的老化加熱測(cè)試的設(shè)備。
　　氮氧傳感器芯片的加熱層和電化學(xué)層之間必須有良好的絕緣，否則加熱層與電化學(xué)層之間的漏電流會(huì)影響到電化學(xué)層的測(cè)量準(zhǔn)確性。氮氧傳感器芯片老化裝

3、置可以通過檢測(cè)芯片加熱層與電化學(xué)層之間漏電流的大小來判斷芯片絕緣層的可靠性，從而篩除絕緣層不達(dá)標(biāo)的芯片。此外，該裝置在老化過程中通過測(cè)量芯片加熱電極的加熱電流，可以完成對(duì)芯片加熱電極的檢測(cè)，從而剔除加熱電極不合格的芯片。對(duì)氮氧傳感器芯片進(jìn)行質(zhì)量檢測(cè)也是氮氧傳感器芯片老化裝置的另一大功能。
　　本文的研究方向在于：設(shè)計(jì)一套可以自動(dòng)對(duì)氮氧傳感器芯片施加循環(huán)加熱老化電壓，并實(shí)時(shí)記錄加熱電流和漏電流的氮氧傳感器老化裝置系統(tǒng)。氮氧傳感器芯片