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文檔簡介
1、隨著傳感器、諧振器、驅(qū)動(dòng)器、非揮發(fā)性存儲(chǔ)器、超聲波換能器等鐵電薄膜電子元器件需求量的增加,制備低成本、高壽命、集成多功能的鐵電薄膜材料受到研究者的高度關(guān)注。近年來,BiFeO3(BFO)作為一種理想的環(huán)境友好型無鉛多鐵材料,因其優(yōu)異的鐵電、壓電以及鐵磁性能,有望在未來的微機(jī)電系統(tǒng)中替代Pb(Zr, Ti)O3(PZT)而得到廣泛的應(yīng)用。
目前,諸多因素仍制約著BFO薄膜材料的應(yīng)用,一方面,BFO薄膜樣品的制備工藝仍不夠成熟,所
2、制備的BFO薄膜樣品存在性能不穩(wěn)定和性能不優(yōu)良兩個(gè)特點(diǎn);另一方面,在BFO薄膜樣品的制備過程中,由于氣氛等原因,容易發(fā)生Fe化合價(jià)的波動(dòng)(主要為Fe3+被還原為Fe2+),為了達(dá)到電價(jià)平衡,產(chǎn)生氧空位,這將使得所制備的薄膜樣品的漏電問題加劇,進(jìn)而影響到所制備的薄膜樣品其它方面的性能,如鐵電性能等。因此,通過對(duì)制備工藝的進(jìn)一步優(yōu)化、摻雜改性、制備多層結(jié)構(gòu)等手段提高BFO薄膜的性能成為目前研究的重點(diǎn)。
本文采用溶膠-凝膠法,層層退
3、火工藝,制備了一系列不同參數(shù)的BFO基薄膜樣品,通過一系列研究,得到以下主要結(jié)論。
(1)Bi過量對(duì)BFO薄膜的結(jié)構(gòu)和性能影響較大。在本體系中,當(dāng)Bi過量10mol%時(shí),所制備的薄膜為ABO3型鈣鈦礦結(jié)構(gòu),此時(shí)薄膜樣中存在準(zhǔn)同型相界,在準(zhǔn)同型相界附近,薄膜相結(jié)構(gòu)具有較大活性,有利于薄膜性能的提高,測試電場為1213 kV/cm時(shí),薄膜剩余極化強(qiáng)度為71.18μC/cm2,矯頑場強(qiáng)412.52kV/cm,漏電流密度為7.8×10
4、-7A/cm2,當(dāng)頻率為105 Hz時(shí),薄膜的介電常數(shù)208,介電損耗為0.042。
(2)Sr摻雜對(duì)BiFe0.98Mn0.02O3薄膜的相結(jié)構(gòu)和電性能有較大影響。Sr元素的最佳摻量為2mol%,測試電場為800kV/cm時(shí),薄膜剩余極化強(qiáng)度90.129μC/cm2,矯頑場282.37kV/cm,漏電流密度為4.5×10-7A/cm2,測試頻率為105Hz時(shí),介電常數(shù)為232,介電損耗為0.190。
(3)使用Sr
5、2Bi4Ti5O18(SBTO)薄膜進(jìn)行雙層結(jié)構(gòu)的制備,降低了BFO基薄膜樣品的漏電流密度,同時(shí)發(fā)現(xiàn),雙層結(jié)構(gòu)的制備,使得所制備的薄膜樣品的抗擊穿電場升高。
作為創(chuàng)新,在機(jī)理分析方面,認(rèn)為Sr摻雜導(dǎo)致BFMO薄膜漏電的主要因素是自由移動(dòng)的氧空位(VO2-)··或取代鉍離子的鍶離子(Sr2+Bi3+)而不是缺陷電子對(duì)(Sr2+Bi3+)'-(VO2-)··,這為進(jìn)一步降低薄膜材料的漏電流提供了參考,通過雙層結(jié)構(gòu)的探討,提高了薄膜
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