一種小型輝光放電光譜分析系統(tǒng)的研究.pdf

1、輝光放電原子發(fā)射光譜儀可以用于材料表面物質(zhì)成分的分析檢測(cè)，它能夠直接分析固體樣品，并能對(duì)樣品表面進(jìn)行沿深度方向的逐層分析。近年來(lái)，輝光放電光譜儀廣泛應(yīng)用于金屬涂鍍層、超硬涂層、有機(jī)涂層等材料的分析檢測(cè)領(lǐng)域，為材料表面成分分析、生產(chǎn)工藝改善、產(chǎn)品質(zhì)量檢驗(yàn)等應(yīng)用研究提供了有效的分析手段。因此，對(duì)輝光放電光譜儀相關(guān)技術(shù)及其應(yīng)用的研究是國(guó)內(nèi)外分析儀器領(lǐng)域的一個(gè)研究熱點(diǎn)。
　　光譜分析儀器的小型化是其發(fā)展的一個(gè)重要研究方向，小型光譜儀可以彌

2、補(bǔ)傳統(tǒng)大型儀器結(jié)構(gòu)復(fù)雜、價(jià)格昂貴等不足。本文研究了一種小型射頻輝光放電光譜分析系統(tǒng)，采用便攜式CCD光譜檢測(cè)器代替?zhèn)鹘y(tǒng)的多道分光檢測(cè)系統(tǒng)，并設(shè)計(jì)了適用于CCD檢測(cè)器的輝光放電激發(fā)源和實(shí)驗(yàn)平臺(tái)，簡(jiǎn)化了輝光光譜儀的結(jié)構(gòu)，減小了儀器的體積?？蓱?yīng)用于小型分析實(shí)驗(yàn)室、材料質(zhì)檢部門及學(xué)校研究室等多種場(chǎng)合。
　　本文設(shè)計(jì)完成了小型射頻輝光放電光譜分析系統(tǒng)的實(shí)驗(yàn)平臺(tái)。其中包括輝光放電激發(fā)源、射頻供電系統(tǒng)、CCD光譜檢測(cè)系統(tǒng)、樣品裝載裝置和抽真空裝

3、置。詳細(xì)介紹了輝光放電激發(fā)源的設(shè)計(jì)方案，并給出了各項(xiàng)結(jié)構(gòu)參數(shù)。介紹了射頻供電系統(tǒng)的原理和調(diào)試方法。設(shè)計(jì)完成了樣品裝載裝置和抽真空裝置，并對(duì)樣品與陽(yáng)極筒端面的距離進(jìn)行了優(yōu)化。通過(guò)實(shí)驗(yàn)確定了射頻功率、放電氣壓等實(shí)驗(yàn)條件。
　　采用本系統(tǒng)對(duì)鍍鋅板、鐵基塊狀樣品、銅基塊狀樣品三種不同基體金屬樣品進(jìn)行了濺射激發(fā)，均得到了良好的濺射坑型。采用愛(ài)萬(wàn)提斯CCD光譜檢測(cè)器對(duì)特征光譜信號(hào)進(jìn)行了采集和分析，在鍍鋅板樣品中檢測(cè)到Zn、Fe、Cu、Al和P