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文檔簡介
1、FTO玻璃具有良好的光電性能及耐久性，所以常被作為薄膜太陽能電池的前電極。但在實(shí)際沉積半導(dǎo)體Si過程中會(huì)被具有還原性的氫等離子體還原，面臨光電性能惡化的問題。本文以鈦酸丁酯為前驅(qū)物，采用噴霧熱解法在FTO玻璃上鍍覆了一層TiO2薄膜，通過改變鈦離子濃度、基板溫度、噴涂時(shí)間等條件，制備了不同形貌及厚度的TiO2/FTO雙層膜。采用X射線衍射儀對(duì)雙層膜的物相組成及晶體結(jié)構(gòu)等進(jìn)行了分析；采用場發(fā)射掃描電鏡和原子力顯微鏡對(duì)雙層膜的表面、斷面形貌
2、和粗糙度進(jìn)行了表征；采用紫外分光光度計(jì)、霧度儀對(duì)雙層膜的光電性能進(jìn)行了測試；采用輝光放電光譜儀對(duì)元素的分布情況進(jìn)行了分析，主要研究結(jié)果如下：
單層FTO薄膜經(jīng)氫等離子體處理后，薄膜性能嚴(yán)重變差，可見光透過率由64.5％下降至34.5％，方塊電阻由15.07Ω/□增大至55.20Ω/□，而TiO2可均勻覆蓋于FTO顆粒表面，TiO2/FTO雙層膜的抗還原能力則有了很大改善。隨著基體溫度的升高及噴涂時(shí)間的延長，TiO2膜厚度及Ti
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