基于干涉條紋特征分析的主軸回轉(zhuǎn)精度檢測(cè)方法研究.pdf

1、隨著超精密加工技術(shù)的高速發(fā)展，人們對(duì)于加工零部件的精度要求越來越高。主軸是機(jī)床的重要組成部分，機(jī)床主軸的回轉(zhuǎn)精度直接決定了加工零件的精度，因此主軸回轉(zhuǎn)精度的檢測(cè)成為一項(xiàng)極具挑戰(zhàn)的課題。此外，開展一種新的測(cè)量超精密主軸回轉(zhuǎn)精度的方法，對(duì)提高我國超精密加工設(shè)備主軸關(guān)鍵部件，以及超精密設(shè)備的研制開發(fā)具有重要意義。
　　本文首先系統(tǒng)的研究了國內(nèi)外學(xué)者提出的各種主軸回轉(zhuǎn)精度檢測(cè)方法，以及對(duì)主軸回轉(zhuǎn)誤差原理進(jìn)行分析，提出了一種新的主軸回轉(zhuǎn)精度

2、檢測(cè)方法，即采用動(dòng)態(tài)干涉儀測(cè)量主軸回轉(zhuǎn)誤差。搭建了動(dòng)態(tài)干涉儀測(cè)量高精度伺服電機(jī)主軸回轉(zhuǎn)誤差的實(shí)驗(yàn)平臺(tái)，通過分析干涉條紋的位移量從而計(jì)算出主軸回轉(zhuǎn)誤差。其次，對(duì)干涉條紋圖像特征進(jìn)行深入研究，設(shè)計(jì)了干涉條紋圖像的實(shí)時(shí)采集系統(tǒng)。基于干涉條紋追蹤實(shí)現(xiàn)位移測(cè)量理論，獲取平面平晶在軸向方向的位移。再次，采用動(dòng)態(tài)干涉儀采集平面平晶隨伺服電機(jī)主軸回轉(zhuǎn)過程中，不同相位的干涉條紋。通過對(duì)原始干涉條紋進(jìn)行圖像處理，得到質(zhì)量較高的干涉條紋邊緣圖像。對(duì)原始干涉條