2023年全國(guó)碩士研究生考試考研英語(yǔ)一試題真題(含答案詳解+作文范文)_第1頁(yè)
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1、隨著集成電路關(guān)鍵尺寸(Critical Dimension)的不斷減小并逐漸接近物理極限,其設(shè)計(jì)規(guī)則、制造工藝以及生產(chǎn)流程也變得更加復(fù)雜,由此引發(fā)的成品率下降的問(wèn)題也愈發(fā)嚴(yán)重。測(cè)試芯片(Test Chip)集成了具備提取電學(xué)、物理參數(shù)以及檢測(cè)工藝缺陷等功能的各類測(cè)試結(jié)構(gòu)(Test Structure),它在進(jìn)入納米時(shí)代后的集成電路成品率領(lǐng)域扮演著尤為重要的角色。
  作為測(cè)試結(jié)構(gòu)的一種類型,環(huán)形振蕩器(Ring Oscillato

2、r,RO)常用于電路時(shí)間延遲的測(cè)量、交流參數(shù)的提取以及工藝波動(dòng)的捕捉。為了提高芯片單位面積內(nèi)可集成的測(cè)試結(jié)構(gòu)的數(shù)量,可尋址的測(cè)試芯片設(shè)計(jì)方案被提出并逐步得到廣泛應(yīng)用。而測(cè)試結(jié)構(gòu)集成度提高的同時(shí),測(cè)試芯片版圖的生成工作也會(huì)變的相對(duì)繁瑣,對(duì)于RO這類版圖較為復(fù)雜的測(cè)試結(jié)構(gòu),情況更不容樂(lè)觀。如果借鑒電子設(shè)計(jì)自動(dòng)化(Electronic Design Automation,EDA)中的一些思想,利用軟件和版圖數(shù)據(jù)庫(kù)實(shí)現(xiàn)版圖生成自動(dòng)化,既能大大縮

3、短用于版圖生成的時(shí)間,又能在一定程度上避免人工繪制版圖出現(xiàn)的錯(cuò)誤。
  本文圍繞基于環(huán)形振蕩器的測(cè)試芯片展開研究,并提出了一套完整的實(shí)現(xiàn)方案——一種基于環(huán)形振蕩器的高面積利用率的可尋址測(cè)試芯片,它可以被放置在晶圓的劃片槽區(qū)域,用于裸片切割前的測(cè)試,并配有一套專用的版圖自動(dòng)化生成平臺(tái),用于節(jié)約版圖設(shè)計(jì)的時(shí)間成本。該方案還從以下細(xì)節(jié)入手,確保在引入可尋址方案后仍能保持一定的測(cè)試精度以及測(cè)試便利度:
  (1)考慮到引入可尋址方案

4、后,測(cè)試芯片所集成的環(huán)形振蕩器類型、輸出頻率的多樣化,本文采用了“局部——全局”兩級(jí)分頻器的設(shè)計(jì),將集成于同一測(cè)試芯片的各類環(huán)形振蕩器的輸出頻率降至一個(gè)盡可能小的范圍,以便外部測(cè)試設(shè)備能對(duì)各輸出頻率進(jìn)行精確的測(cè)量;
  (2)考慮到電流測(cè)量準(zhǔn)確性,使用兩組分立的電源、地網(wǎng)絡(luò)為待測(cè)環(huán)形振蕩器和外圍電路供電;
  (3)考慮到供電電壓的準(zhǔn)確性,采用了獨(dú)熱碼與傳統(tǒng)二進(jìn)制編解碼結(jié)合的可尋址方案,并使用“十字交疊繞線法”進(jìn)一步減少電源

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