基于LabVIEW的朗謬探針診斷系統(tǒng)的研制及應(yīng)用.pdf

1、近年來(lái)，低溫等離子體技術(shù)在工業(yè)中得到了廣泛的應(yīng)用，而其中微波放電等離子體技術(shù)也越來(lái)越受到人們的關(guān)注，如何對(duì)等離子體參數(shù)進(jìn)行有效的控制，在實(shí)際應(yīng)用中具有了越來(lái)越重要的作用。控制等離子體參數(shù)的重要前提就是能夠準(zhǔn)確的獲得等離子體的各項(xiàng)參數(shù)。在眾多的等離子體診斷手段中，Langmuir探針以其結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、操作方便、適用范圍廣、獲得信息量豐富等特點(diǎn)，成為了低溫等離子體診斷領(lǐng)域中一項(xiàng)重要的分析工具。以往實(shí)驗(yàn)室所采用的Langmuir探針診斷系統(tǒng)，以手

2、動(dòng)的方式進(jìn)行測(cè)量，不僅速度慢、可控性差，而且精度低、抗干擾能力不強(qiáng)。因此，需要設(shè)計(jì)一種快速、準(zhǔn)確、抗干擾能力強(qiáng)的自動(dòng)化診斷系統(tǒng)，用以提高實(shí)驗(yàn)室的診斷效率。
　　 本文介紹了一種自行設(shè)計(jì)的應(yīng)用于微波放電等離子體的自動(dòng)化Langmuir探針診斷系統(tǒng)，該診斷裝置主要由Langmuir探針、硬件電路和軟件程序組成。其中硬件電路以采集卡為核心，包括掃描電源輸出部分和電壓電流檢測(cè)部分；軟件程序采用LabVIEW軟件編程，包括數(shù)據(jù)采集控制程序

3、和數(shù)據(jù)分析程序兩部分。本文對(duì)硬件部分的工作原理和軟件部分的編程思路都進(jìn)行了詳細(xì)的介紹。
　　 本文所介紹的自動(dòng)化Langmuir探針診斷系統(tǒng)已經(jīng)能夠運(yùn)用于實(shí)際的實(shí)驗(yàn)測(cè)量中，用于測(cè)量實(shí)驗(yàn)室的微波放電大面積表面波等離子體，取得了較為滿意的實(shí)驗(yàn)結(jié)果。本文將就實(shí)驗(yàn)操作的各個(gè)部分進(jìn)行詳細(xì)的介紹，分別介紹每一步所能獲得的實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)。為了分析各項(xiàng)可控參數(shù)對(duì)等離子體參數(shù)的影響，我們改變實(shí)驗(yàn)條件，進(jìn)行多組數(shù)據(jù)測(cè)量后獲取等離子體參數(shù)，對(duì)獲得的實(shí)驗(yàn)結(jié)果