1磁控濺射鍍膜原理及工藝摘要真空鍍膜技術(shù)作為一種產(chǎn)生特定膜層的技術(shù)，在現(xiàn)實生產(chǎn)生活中有著廣泛的應(yīng)用。真空鍍膜技術(shù)有三種形式，即蒸發(fā)鍍膜、濺射鍍膜和離子鍍。這里主要講一下由濺射鍍膜技術(shù)發(fā)展來的磁控濺射鍍膜的原理及相應(yīng)工藝的研究。關(guān)鍵詞濺射；濺射變量；...
下載價格：6 賞幣 / 發(fā)布人： 畢業(yè)設(shè)計 / 發(fā)布時間：2024-03-11 / 8人氣
下載價格：6 賞幣 / 發(fā)布人： 畢業(yè)設(shè)計 / 發(fā)布時間：2024-03-11 / 12人氣
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下載價格：1 賞幣 / 發(fā)布人： 世中仙 / 發(fā)布時間：2024-03-21 / 0人氣
由于釩是一種過渡金屬元素，可與氧結(jié)合形成多種價態(tài)的氧化物，并且在光電轉(zhuǎn)換、熱敏特性方面表現(xiàn)出了優(yōu)異并且獨特的性質(zhì)，因此氧化釩薄膜成為國內(nèi)外的研究重點。目前對氧化釩的研究重點主要集中在器件方面，如光輻射防護薄膜、光學(xué)數(shù)據(jù)存儲、太陽能電池及軍用激等應(yīng)...
下載價格：5 賞幣 / 發(fā)布人： 消耗 / 發(fā)布時間：2024-03-10 / 3人氣
CLASSIFIEDINDEX0469UDC530SECRECYRATEPUB。。。I。。Z。IEDUNIVERSITYCODE●HEBEIUNIVERSITYOFSCIENCEANDTECHNOLOGYDISSERTATIONFORTHEMASTERDEGREE10082THERESEARCHOFPREPARATINGFILMSBYUSINGOFMAGNETRONSPUTTERINGCANDIDATESUPERYISORASSOCIATESUPERVISORACADEMIC...
下載價格：5 賞幣 / 發(fā)布人： 貞潔 / 發(fā)布時間：2024-03-08 / 5人氣
磁控濺射法制備薄膜材料綜述磁控濺射法制備薄膜材料綜述材料化學(xué)材料化學(xué)張召舉張召舉摘要薄膜材料的厚度是從納米級到微米級，具有尺寸效應(yīng)，在國防、通訊、航空、航天、電子工業(yè)等領(lǐng)域有著廣泛應(yīng)用，其有多種制造方法，目前使用較多的是濺射法，其中磁控濺射的應(yīng)用...
下載價格：6 賞幣 / 發(fā)布人： 畢業(yè)設(shè)計 / 發(fā)布時間：2024-03-09 / 12人氣
本文全面系統(tǒng)的研究了沉積條件對直流磁控濺射制備氮化銅薄膜的結(jié)構(gòu)和性能的影響，以及金屬鋁、鐵、鑭摻雜對直流磁控濺射制備氮化銅薄膜的結(jié)構(gòu)和性能的改變。具體做了下列幾方面的研究并得出了相應(yīng)的結(jié)論1在保持其它條件不變的情況下，改變氮氣分壓制備了氮化銅薄膜，...
下載價格：5 賞幣 / 發(fā)布人： 只愿我百歲 / 發(fā)布時間：2024-03-09 / 10人氣
銅銦鎵硒CIGS薄膜太陽能電池具有抗輻射能力強、光電轉(zhuǎn)化效率高、工作性能穩(wěn)定等特點，是最有發(fā)展前景的太陽能電池之一。CIGS光吸收層薄膜的主要制備方法是多源共蒸發(fā)法和濺射硒化法。用共蒸發(fā)法制備的CIGS器件的光電轉(zhuǎn)換效率已經(jīng)達到203％，是目前CIGS薄膜太陽能電池...
下載價格：5 賞幣 / 發(fā)布人： 哭哭啼啼 / 發(fā)布時間：2024-03-09 / 5人氣
化學(xué)計量比接近1∶1的TIN薄膜制備工藝簡單，價格低廉，具有良好的導(dǎo)電性和較大的功函數(shù)～47EV，因此成為當(dāng)前微電子工業(yè)中的主流電極材料，廣泛應(yīng)用于動態(tài)隨機存儲器（DRAM）和場效應(yīng)晶體管FET等器件當(dāng)中。厚度小于10NM的TIN薄膜與HFO2等高K電介質(zhì)層接觸時，會形成較...
下載價格：5 賞幣 / 發(fā)布人： 愛意在夜里彌漫 / 發(fā)布時間：2024-03-09 / 14人氣
上海大學(xué)碩士學(xué)位論文磁控濺射SICSIN薄膜用作減反射膜的研究與在線磁控濺射設(shè)備方案設(shè)計姓名栗敏申請學(xué)位級別碩士專業(yè)凝聚態(tài)指導(dǎo)教師趙占霞20090501J海人學(xué)碩士學(xué)位論文SIC靶DP77MM；通過臺階儀測量得出SIC濺射時間為30MIN，SIN濺射時間為45MIN時，得到的薄膜最符合...
下載價格：5 賞幣 / 發(fā)布人： 臉紅的思春期 / 發(fā)布時間：2024-03-06 / 13人氣
上海大學(xué)碩士學(xué)位論文磁控濺射法制備ZNO薄膜姓名陸液申請學(xué)位級別碩士專業(yè)材料學(xué)指導(dǎo)教師朱興文20060201ABSTRACTASAWIDEBANDGAPF337EVLII一ⅥSEMICONDUCTORZNOMATERIALHASBEENINTENSIVELYSTUDIEDINTHISPAPERTHELIDOPEDZNOLIZNOTHINFILMSHAVEBEENDEPOSITEDONLIMEGLASS...
下載價格：5 賞幣 / 發(fā)布人： 那年小賣部門口 / 發(fā)布時間：2024-03-07 / 8人氣
磁場分布在整個磁控濺射過程中起著至關(guān)重要的作用，磁場強度的大小、分布決定了等離子體的特性，從而對成膜質(zhì)量、靶材刻蝕的均勻程度以及靶材的利用率均有很大的影響。此外磁控靶的溫度直接關(guān)系著濺射功率和濺射效率，冷卻效果的好壞也會對濺射過程產(chǎn)生影響。以往人...
下載價格：5 賞幣 / 發(fā)布人： 空留膽怯 / 發(fā)布時間：2024-03-09 / 3人氣
ⅢⅤ族半導(dǎo)體材料具有更寬的禁帶寬度，更高的發(fā)光效率、量子效率、抗輻射能力等優(yōu)越性質(zhì)，同時，它們還具有耐高溫，耐酸堿的特性，被廣泛的應(yīng)用在高效紫外激光器LD、發(fā)光二極管LED、高電子遷移率晶體管HEMT中。因此，有關(guān)ⅢⅤ半導(dǎo)體材料的研究逐漸進入了人們的視野。...
下載價格：5 賞幣 / 發(fā)布人： 誰愛過一場 / 發(fā)布時間：2024-03-09 / 6人氣
PZT（鋯鈦酸鉛）薄膜因為其良好的機電耦合特性、較大的剩余極化強度、壓電系數(shù)、熱釋電系數(shù)、優(yōu)異的介電性能、較小的漏電流密度而且易與MEMS工藝相結(jié)合，被廣泛應(yīng)用于微電子的各個領(lǐng)域，如鐵電存儲器、數(shù)字開關(guān)、振動能量采集器以及燃料電池等。本文中在PTTISIO2SI底...
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太陽電池是一個朝陽產(chǎn)業(yè)，也是現(xiàn)在發(fā)展正非?；馃岬囊粋€行業(yè)。非晶硅、微晶硅薄膜太陽電池在硅系太陽電池中具有很大的性價比優(yōu)勢。本文使用磁控濺射法沉積硅薄膜，通過優(yōu)化薄膜沉積的工藝參數(shù)，以期為用濺射法最終制備出高質(zhì)量的器件級硅薄膜提供科學(xué)數(shù)據(jù)。磁控濺射...
下載價格：5 賞幣 / 發(fā)布人： 稍微能記起 / 發(fā)布時間：2024-03-09 / 14人氣
VO2薄膜可在68℃時發(fā)生半導(dǎo)體金屬轉(zhuǎn)變同時伴隨著光、電、磁性能的突變在智能窗和激光保護等方面具有潛在的應(yīng)用前景。研究發(fā)現(xiàn)釩可與氧構(gòu)成幾十種氧化物目前采用的單一制備技術(shù)較難獲得嚴(yán)格化學(xué)配比VO2薄膜。鑒于VO2薄膜廣泛的應(yīng)用價值及目前制備技術(shù)的缺陷選用合適的...
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自從20世紀(jì)70年代早期磁控濺射技術(shù)誕生以來磁控濺射技術(shù)在高速率沉積金屬、半導(dǎo)體和介質(zhì)薄膜方面已取得了巨大的進步。在磁控濺射生產(chǎn)過程中特別關(guān)注靶材利用率、沉積速率以及濺射過程穩(wěn)定性等方面的問題解決這些問題根本在于整個系統(tǒng)的優(yōu)化設(shè)計而靶的設(shè)計則是其中的...
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超高真空磁控濺射鍍膜機的使用摘要真空鍍膜技術(shù)作為一種產(chǎn)生特定膜層的技術(shù)，在現(xiàn)實生產(chǎn)生活中有著廣泛的應(yīng)用。真空鍍膜技術(shù)有三種形式，即蒸發(fā)鍍膜、濺射鍍膜和離子鍍。這里主要講一下由濺射鍍膜技術(shù)發(fā)展來的超高真空磁控濺射鍍膜機的使用的一些注意事項。關(guān)鍵詞真...
下載價格：6 賞幣 / 發(fā)布人： 畢業(yè)設(shè)計 / 發(fā)布時間：2024-03-07 / 5人氣
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磁控濺射技術(shù)因其具有較高的沉積率速率和成膜質(zhì)量而成為薄膜制備的重要手段之一被廣泛應(yīng)用于集成電路制造、特殊功能材料涂層及材料改性等諸多領(lǐng)域。本文采用磁控濺射技術(shù)在單晶SI100基體上制備了硅鉬薄膜通過掃描電子顯微鏡SEM研究了鍍膜工藝參數(shù)對薄膜組織形貌的影...
下載價格：5 賞幣 / 發(fā)布人： 漁樵 / 發(fā)布時間：2024-03-10 / 8人氣
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