80爐單晶工藝

1、一目的為了正確、規(guī)范地操作單晶爐，確保生產(chǎn)作業(yè)正常，特制評(píng)本規(guī)范。二范圍適用于DTR70AB和JRDL800型單晶爐操作。三依據(jù)單晶爐使用說(shuō)明書(shū)及硅單晶生長(zhǎng)物理基礎(chǔ)。四權(quán)責(zé)單位浙江昱輝陽(yáng)光能源有限公司技術(shù)管理部單晶科。五作業(yè)流程作業(yè)準(zhǔn)備熱態(tài)檢漏取單晶和籽晶石墨件取出冷卻單晶爐室清洗石墨件清洗真空泵油檢查真空過(guò)濾器清洗石墨件安裝石英坩堝安裝硅料安裝籽晶安裝（二次加料、再熔料）充氬氣、升功率熔料抽空、檢漏引晶、縮頸、放肩、轉(zhuǎn)肩等徑生長(zhǎng)收尾降

2、功率、停爐冷卻六主要內(nèi)容1.作業(yè)準(zhǔn)備（1）進(jìn)入單晶車間須穿戴好潔凈工作服、鞋。（2）開(kāi)爐前，按工藝要求檢查水、電、氣，確認(rèn)無(wú)誤后方能開(kāi)爐。（3）準(zhǔn)備一次性潔凈手套、耐高溫手套、毛巾、紙巾、研磨布、酒精、吸塵刷、吸塵管、防塵口罩。（4）準(zhǔn)備好鉗子、扳手和各類拆裝爐專用工具。（5）取單晶的架子，裝石墨件的不銹鋼小車，裝鍋底料的不銹鋼桶和裝硅料的不銹鋼小車，并處理干凈。（6）用毛巾將爐體從上到下擦一遍，擦洗時(shí)注意：不要將控制接線及開(kāi)關(guān)碰斷或碰

3、壞，并把爐體周圍清掃干凈。2.熱態(tài)檢漏（1）檢查上一爐功率關(guān)閉時(shí)間，在確認(rèn)單晶冷卻時(shí)間達(dá)到2h時(shí)，關(guān)閉氬氣總閥門(mén)（關(guān)閉前保持副室流量計(jì)調(diào)節(jié)閥打至30Lmin，在關(guān)閉氬氣進(jìn)氣總閥門(mén)，然后打開(kāi)主室流量計(jì)調(diào)節(jié)閥，副室調(diào)節(jié)閥仍然保持打開(kāi)狀態(tài)），開(kāi)始抽高真空，并作時(shí)間記錄。（2）待爐內(nèi)壓力到達(dá)極限（要求達(dá)到3Pa以下）后，先關(guān)閉主室抽空球閥而后關(guān)閉真空泵電源進(jìn)行檢漏，并作相應(yīng)時(shí)間記錄，若0.7h內(nèi)抽不到3Pa以下，交有關(guān)維修人員處理，在此期間須配

4、合有關(guān)維修人員進(jìn)行裝拆爐，并作好相關(guān)記錄。（3）檢漏要求5min以上，漏氣率0.2Pamin時(shí)，交有關(guān)維修人員處理，在此期間須配合有關(guān)維修人員進(jìn)行裝拆爐，并作好相關(guān)記錄。（4）作好熱態(tài)檢漏時(shí)的抽空時(shí)間，檢漏時(shí)間，極限真空，漏氣速率等記錄。3.取單晶和籽晶（1）熱態(tài)檢漏后，必須繼續(xù)冷卻，等總時(shí)間達(dá)到5h后，再緩慢調(diào)節(jié)晶轉(zhuǎn)、堝轉(zhuǎn)為零，關(guān)閉晶轉(zhuǎn)、堝轉(zhuǎn)。充氬氣至常壓，關(guān)閉氬氣，打開(kāi)副室小門(mén)（在此之前須先擰松副室小門(mén)落。5.真空過(guò)濾器清洗a準(zhǔn)備好

5、吸塵刷、吸塵管、酒精、紙巾、扳手、帶好手套、防塵口罩。b先打開(kāi)真空過(guò)濾器蓋，充氣閥充滿氣，在關(guān)閉充氣閥。c用扳手打開(kāi)真空過(guò)濾器蓋，用吸塵刷清洗過(guò)濾器蓋，用沾有酒精的紙巾擦凈密封圈，并檢查密封圈是否安全就位，防止出現(xiàn)脫落或出槽影響抽空。d蓋好過(guò)濾器蓋并用扳手上好過(guò)濾器蓋螺絲。6.真空泵油檢查，更換，真空泵清洗（每爐檢查真空泵油位，每5爐更換真空泵油，每15爐清洗真空泵）a確認(rèn)關(guān)閉主室泵球閥和真空泵，在放油單晶爐上掛檢修牌，將廢油桶置于真空

6、泵放油口下方，打開(kāi)上下腔放油開(kāi)關(guān)，放完油后關(guān)閉上下腔放油閥，廢油倒入指定油桶。b清洗真空泵，有扳手打開(kāi)真空泵側(cè)蓋，置于適當(dāng)位置用毛巾徹底清理真空泵腔、側(cè)蓋和下腔濾油網(wǎng)的油污，清洗完畢后，安裝好濾網(wǎng)，安裝好側(cè)蓋。側(cè)蓋再打開(kāi)、安裝時(shí)小心操作，防止損壞側(cè)蓋及油封而漏油。泵腔內(nèi)禁止遺留紙屑或其他異物，不然會(huì)造成油路的堵塞而導(dǎo)致真空泵卡死。清理真空泵的廢棄物放入指定垃圾桶。c打開(kāi)真空泵注油口，將真空泵油注入真空泵注油口，觀察真空泵油位至油位觀察窗

7、12位置，停止注油，打開(kāi)泵側(cè)的油路管道閥門(mén)向下腔放油，關(guān)閉油口。d啟動(dòng)真空泵工作5min后關(guān)閉泵側(cè)的油路管道閥門(mén)，察看油位是否處于油位觀察窗的1312位置，關(guān)閉真空泵，在放油單晶爐上移去檢修牌。若油位低于下限重復(fù)6.c和6.d的操作。7.石墨件清洗（一）石墨件小件清洗①石墨件必須在指定的清洗室進(jìn)行清洗，不得在爐子現(xiàn)場(chǎng)打磨石墨件，準(zhǔn)備好清洗用品（吸塵刷、紙巾、吸塵管、研磨布、除硅粒專用工具、放石墨件的潔凈小車等），戴好手套、防塵口罩。清洗

8、好清洗臺(tái)及周圍環(huán)境。②依次用吸塵刷清洗各類石墨件直至確認(rèn)無(wú)污物，溝槽及接口等吸附揮發(fā)物較多的部位要用研磨布認(rèn)真打磨后再吸塵清洗。③清洗時(shí)注意檢查各石墨件是否有損壞及粘硅，有損壞及粘硅等異常要及時(shí)報(bào)告上司處理，并及時(shí)更換。做好相關(guān)記錄。④操作時(shí)要輕拿輕放以免造成石墨件的損壞。清理完畢的石墨件放到事前準(zhǔn)備好的潔凈不銹鋼小車上。禁止疊加，移動(dòng)不銹鋼小車要穩(wěn)當(dāng)。⑤清洗后垃圾放入垃圾指定處，清洗好清洗臺(tái)及周圍環(huán)境。（二）石墨大件爐內(nèi)清洗（適用于每

9、爐小清，石墨大件未取出時(shí)在爐內(nèi)清洗）①用吸塵刷吸凈爐筒、保溫罩和加熱器上沿拆爐時(shí)掉落的殘?jiān)＂谟梦鼔m刷仔細(xì)用力清洗保溫罩、加熱器所能觸及到得部位。③取出加熱器螺絲蓋，檢查電極螺絲是否松動(dòng)、脫落和粘硅。有松動(dòng)須擰緊，有脫落或粘硅須更換。再蓋好加熱器螺絲蓋。④如果在拆爐時(shí)不小心引起熱場(chǎng)移動(dòng)或轉(zhuǎn)動(dòng)一定要檢查熱場(chǎng)是否對(duì)稱，測(cè)溫孔要重新校正。如果測(cè)溫孔有偏離會(huì)影響測(cè)光信號(hào)，導(dǎo)致歐陸表數(shù)值過(guò)小，無(wú)法對(duì)爐內(nèi)溫度進(jìn)行自動(dòng)控制無(wú)法結(jié)晶⑤用吸塵刷吸凈爐底上