精密超精密

1、一、名詞解釋1、超精密磨削超精密磨削：一般是指加工精度達到或高于0.1μm，表面粗糙度小于Ra0.025μm，是一種亞微米級的加工方法，正向納米級發(fā)展。2、鏡面磨削鏡面磨削：一般是指加工表面面粗糙度達到Ra0.020.01μm，表面光澤如鏡的磨削方法，比較強調表面粗糙度的要求，屬于精密磨削和超精密磨削范疇。3、微切削去除微切削去除：細微切削時，為保證工件尺寸精度要求，其最后一次的表面切削層厚度必須小于尺寸精度值。4、離子束加工離子束加工

2、：離子束加工是在真空條件下，將氬Ar.氪Kr，氙Xe等惰性氣體通過離子源產生離子束，經加速、集束、聚焦后，射到被加工表面上以實現(xiàn)各種加工的方法。5、光刻加工技術光刻加工技術要求是針對集成電路制作中得到高精度微細線條所構成的高密度微細復雜圖形6、空氣潔凈度：空氣潔凈度：指空氣中含塵埃量多少的程度。7、恒溫精度：恒溫精度：指相對于平均溫度所允許的偏差值二、選擇1、（100）面網(wǎng)最小單元為：正方形。2、切削刃解理破損是磨損和破損的主要形式，3

3、、離子束加工是靠微觀力效應，被加工表面層不產生熱量，不引起機械應力和損傷4、激光加工機理是：熱效應5、光刻加工技術光刻加工技術要求是針對集成電路制作中得到高精度微細線條所構成的高密度微細復雜圖形6、潔凈室相對濕度：一般控制在35%到45%之間。7、空氣凈化的基本要求：1發(fā)塵量要小2及時排除塵埃3供給潔凈空氣三、判斷1、金剛石刀具進行超精密切削，用于加工鋁合金、無氧銅、黃銅、非電解鎳等有色金屬和某些非金屬材料。2、超精密切削時，切削速度并

4、不受刀具壽命制約，這是和普通的切削規(guī)律不同的。3、超精密切削時機選擇切削速度，經常是根據(jù)所使用的超精密機床動特性和切削系統(tǒng)動態(tài)特性選取，即選擇震動最小的轉速。4、加工表面粗糙度是直接和積屑瘤的高度有關，積屑瘤高度大，表秒粗糙度大，積屑瘤小，表面粗糙度小。5、使用切屑液后，已消除了積屑瘤對加工表面粗糙度的影響，這時切削速度已經和加工表面粗糙度無關。6、（100）（110）兩把刀都比較鋒銳時，加工表面粗糙度相差不多。7、都在高磨削率方向上，

5、（110）晶面磨削率最高，最容易磨。8、金剛石刀具的磨損，主要屬于機械磨損，其磨損本質是微觀解理的積累。9、金剛石晶體的破損，主要產生于（111）晶面的解理。10、金剛石刀具一般不采用主切削刃和副切削刃相交為一點的尖銳的刀尖。11、由于金剛似的脆性，在保證獲得較小的加工表面粗糙度的前提下，為增加切削刃的強度，應采用較大的刀具楔角β，故刀具的前角和后角都取得較小。12、（100）晶面的耐磨性明顯高于（110）晶面。13、（100）晶面的微

6、觀破損強度要高于（110）晶面14、（100）晶面和有色金屬之間的摩擦因數(shù)要低于（110）晶面的摩擦因數(shù)。15、對于銅、鋁等及其合金等軟金屬，用金剛石刀具進行超精密車削是十分有效18、修銳是去除磨粒間的結合劑，使磨粒突出結合劑一定高度。19、磨削法與超硬磨料砂輪對磨進行修整，是目前最為廣泛采用的修整方法20、磨削硬質合金時普遍采用煤油，立方氮化硼砂輪磨削時采用油性液為磨削液，一般不用水溶性液。21、超精密磨削時有微切削作用，塑性流動和彈

7、性破壞作用，同時還有滑擦作用。22、從加工機理看，砂帶磨削兼有磨削、研磨和拋光的綜合作用。23、砂帶磨削頭架中，最重要而關鍵的零件是接觸輪。24、當工件直徑較大并且重量較重時，超精密機床多采用立式結構布局。25、花崗巖現(xiàn)在已是超精密機床的床身和導軌的熱門材料，因為花崗巖比鑄鐵長期尺寸穩(wěn)定性好，熱膨脹系數(shù)低，對震動的衰減能力強，硬度高，耐磨并且不會生銹。26、超精密機床導軌部件要求：極高的直線運動精度，不能有爬行，導軌耦合面不能有磨損，要

8、求導軌有很高的制造精度，導軌的材料要有很高的穩(wěn)定性和耐磨性。27、微細加工技術是指：制造微小尺寸零件的生產加工技術28、空氣凈化的基本要求：1發(fā)塵量要小2及時排除塵埃3供給潔凈空氣五、簡答1、最新技術最近出現(xiàn)的隧道掃描顯微鏡分辨率為0.01nm，是目前世界上精度最高的測量儀，可用于測量金屬和半導體零件表面的原子分布的形貌。最新的研究證實，在掃描隧道顯微鏡下可以移動原子，實現(xiàn)精密工程的最終目標——原子級精密加工。2、看表：金剛石物理力學性

9、能，為什么它是不能代替的超精密切削刀具材料？從表可以看出，它有甚高的硬度、較高的熱導率、和有色金屬間的摩擦因數(shù)低、開始氧化的溫度較高，這些都是超精密切削刀具所要求的。此外單晶金剛石可以研磨大盜極其鋒利的切削刃（rn可以小到0.050.01μm），沒有其他任何材料可以磨到這樣鋒銳，并且能長期切削而磨削很小，因此金剛石是最理想不能代替的超精密切削的刀具材料。3、解理現(xiàn)象解理現(xiàn)象是某些晶體特有的現(xiàn)象，晶體受到定向的機械力作用時，可以沿解理面（

10、111）面平整的劈開現(xiàn)象，叫解理現(xiàn)象。4、圖題，研磨金剛石晶體時，（110）晶面摩擦因數(shù)最大，（100）晶面次之，（111）晶面最小。5、讀圖金剛石不同晶面破損的幾率說明：當作用應力相同時，（110）面破損幾率最大，（111）面次之，（100）面最小，即在外力作用下，（110）面容易破損，（111）面次之，（100）面最不容易破損。這種情況在設計金剛石刀具，選擇前面和后面的晶面時，必須首先給予考慮。根據(jù)上面的分析，應選用微觀強度最高的（

11、100）晶面作為金剛石刀具的前面和后面。6、金剛石激光定向原理：利用金剛石在不同的結晶方向上，晶體結構不同，對激光的反射而形成的衍射圖像不同而進行的。7、超硬磨料砂輪磨削的共同特點：①可用來加工各種高硬度，高脆性金屬材料和非金屬材料，如陶瓷、玻璃、半導體材料、寶石、銅鋁等有色金屬及其合金、耐熱合金鋼等。②磨削能力強，耐磨性能好，壽命高，易于控制加工尺寸及實現(xiàn)加工自動化。③磨削力小，磨削溫度低，加工表面質量好，無燒傷，裂紋和組織變化。④削