硅微通道陣列結構的化學機械拋光及清洗技術研究.pdf_第1頁
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文檔簡介

1、微通道結構是具有多孔結構的半導體器件，很多領域都有著廣泛的應用，如微通道板，微全分析系統(tǒng)，微型熱傳導器件以及微型化工設備等。然而硅微通道在增益提高、圖像分辨率改善方面比傳統(tǒng)的玻璃纖維微通道板更有優(yōu)越性。隨之而發(fā)展起來的電化學腐蝕技術具有高深寬比和成本低廉的優(yōu)點，在硅微通道的制備過程中被廣泛使用。
　　因此，在硅微通道電化學腐蝕后的平坦化處理及清洗工藝也蓬勃發(fā)展起來，本文詳細分析了拋光液pH值、壓力、拋光液注入流量及工作臺轉速等因素

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