干冰微粒噴射法清洗和拋光ITO玻璃.pdf

1、ITO玻璃是液晶顯示器（LCD）和有機發(fā)光顯示器(OLED)的重要部件，ITO玻璃表面的潔凈度是影響LCDs和OLEDs性能的重要因素。隨著對能源和環(huán)保的關注，傳統(tǒng)的清洗技術難以滿足要求。干冰微粒噴射法作為一種新型的精密清洗技術在電子器件及材料的清洗方面很有成效，它具清洗效果好，不使用水和化學藥品，不會引入二次污染，并且無毒，對人體無害等優(yōu)點。因此將干冰微粒噴射法應用于ITO玻璃的清洗具有重要的實際意義。
　　本文介紹了干冰微粒噴

2、射法清洗的有關研究和理論，進行了用干冰微粒噴射法清洗ITO玻璃的實驗，研究了噴射角度、噴射距離、噴射時間等因素對于清洗效果的影響。同時對比了低頻超聲波法清洗ITO玻璃的清洗效果。研究表明，經過超聲波法清洗和干冰微粒噴射清洗的ITO玻璃樣品的表面接觸角都比未清洗樣品的顯著減小，表面能有顯著提高，而且干冰微粒噴射法清洗后ITO玻璃表面的浸潤性超過了超聲波洗法清洗后的浸潤性。通過固定減速比(FRR)模型對表面元素含量的進行定量分析和C1s和O

3、1s的精細譜分析，發(fā)現干冰微粒噴射法能夠降低表面污染碳和COOH態(tài)的氧，從而有效地降低了表面有機污染物的含量，提高了ITO玻璃的表面潔凈度。對清洗前后樣品表面殘留顆粒進行了SEM測量和分析，結果表明相對于超聲法，干冰微粒噴射法能更有效地去除表面污染顆粒。
　　制備了結構相同但其ITO陽極分別采用干冰微粒法清洗和超聲波法清洗的兩種OLED器件，對這兩種器件的光電參數進行了測量。結果表明，使用干冰微粒噴射法清洗ITO電極的器件的啟亮電