藍(lán)寶石襯底上制備Tl-2212薄膜.pdf

1、藍(lán)寶石襯底具有出色的微波性能(較低的介電常數(shù)，較低的介電損耗)，極高的熔點(diǎn)，并且在空氣中物性極其穩(wěn)定，因此是比較理想的微波應(yīng)用襯底材料。 本論文研究了藍(lán)寶石襯底上Ce02緩沖層以及TI-2212高溫超導(dǎo)薄膜的制備方法和特性，主要目的是探索生長(zhǎng)緩沖層和鉈膜的最佳條件(溫度，壓強(qiáng)，濺射功率，時(shí)間等)以及這些條件對(duì)薄膜生長(zhǎng)的影響程度。同時(shí)制備了Mg0為襯底，CeO2為緩沖層的TI-2212高溫超導(dǎo)薄膜，作為研究和比較。 實(shí)驗(yàn)采

2、用RF磁控濺射工藝在藍(lán)寶石襯底上濺射CeO2緩沖層，濺射功率120瓦，濺射氣壓6Pa(氬氧混合氣)，濺射時(shí)間2小時(shí)，選取400-700℃的襯底溫度進(jìn)行實(shí)驗(yàn)。通過(guò)θ-2θ掃描分析該系列緩沖層的相結(jié)構(gòu)可知：襯底溫度在650℃以下會(huì)出現(xiàn)非C軸取向的CeO2區(qū)域。濺射功率、氣壓、時(shí)長(zhǎng)不變的條件下，襯底溫度在700℃時(shí)可以得到高質(zhì)量的CeO2外延薄膜。在此基礎(chǔ)上，再用兩步法在CeO2緩沖層上制備了TI-2212高溫超導(dǎo)薄膜，利用XRD的θ-2θ掃