2023年全國(guó)碩士研究生考試考研英語一試題真題（含答案詳解+作文范文）_第1頁
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文檔簡(jiǎn)介

1、　　本論文研究了圖形化藍(lán)寶石襯底GaN基藍(lán)光發(fā)光二極管的制備,重點(diǎn)研究了高密度圖形化藍(lán)寶石襯底的制備過程中所遇到的問題及其解決辦法。通過對(duì)電感耦合等離子體(ICP)刻蝕機(jī)理的分析,研究ICP刻蝕設(shè)備的各個(gè)參數(shù)如壓強(qiáng)、刻蝕功率、偏壓功率、氣體流量對(duì)藍(lán)寶石刻蝕過程中產(chǎn)生的影響。通過調(diào)節(jié) ICP 刻蝕參數(shù)得到不同的藍(lán)寶石與光刻膠的刻蝕選擇比,靈活修飾藍(lán)寶石的刻蝕圖形。
　　本論文通過分析幾種藍(lán)寶石襯底圖形形貌的制備方法,分別制作了圓

2、錐形貌、盾牌形貌、三棱錐形貌的圖形襯底,進(jìn)行了 GaN 外延生長(zhǎng)后應(yīng)用于藍(lán)光發(fā)光二極管制作。通過XRD、PL、EL 等測(cè)試分析,發(fā)現(xiàn)在所用的圖形化藍(lán)寶石襯底中,圓錐形貌圖形襯底上所制備的發(fā)光二極管光電性能最好。
　　本文通過對(duì)圓錐形貌的圖形襯底進(jìn)行優(yōu)化,分析了藍(lán)寶石襯底上不同圖形間距對(duì)外延生長(zhǎng)的影響,并應(yīng)用于254×584μm2的GaN基藍(lán)光發(fā)光二極管,分析其在20mA工作電流條件下正向電壓和光輸出功率的變化,在優(yōu)化參數(shù)下制得

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