微電鑄器件均勻性的研究.pdf_第1頁
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文檔簡介

1、本文對微電鑄器件的均勻性進行了研究。文章從理論上分析了負向脈沖電流對鑄層均勻性的改善作用。由于負向電流可以腐蝕削減鑄層表面微觀突起的生長高度，因此周期換向脈沖電流微電鑄與單向正脈沖電流微電鑄相比更易獲得較好的鑄層均勻性。在理論分析的基礎上，采用兩種周期換向脈沖電流進行微電鑄的實驗研究。兩種周期換向脈沖電流分別為周期換向雙脈沖電流和周期換向正向間斷負向連續(xù)的脈沖電流。實驗采用無背板生長工藝，工藝參數(shù)是在大量的單向正脈沖電流微電鑄實驗的基礎

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