全自動金絲球焊機快速送絲系統(tǒng)關鍵技術研究.pdf

1、21世紀，微電子技術仍然是信息產業(yè)的主要技術支撐之一，引線鍵合設備是微電子器件制造業(yè)的重要工具。金絲球焊機是半導體封裝設備的重要設備之一。送絲系統(tǒng)是金絲球焊機的重要組成子系統(tǒng)，絲線傳輸?shù)淖枇刂坪蛷埦o力控制是金絲球焊機送絲系統(tǒng)的關鍵技術之一，其對鍵合質量有著重要的影響。
　　本課題來源于國家973計劃：高性能電子產品設計制造精微化數(shù)字化新原理和新方法。主要研究內容是對全自動金絲球焊機快速送絲系統(tǒng)關鍵技術進行研究。
　　首先，

2、根據(jù)球鍵合工藝過程和系統(tǒng)的技術要求，設計了由氣體導軌和真空張緊裝置組成的低摩擦系統(tǒng)實現(xiàn)了金線低阻傳輸；建立了金線在氣體導軌和真空張緊裝置內受力模型，找出二者的控制參數(shù)與其對金線的作用力的關系。
　　其次，根據(jù)低摩擦系統(tǒng)關鍵部件(氣體導軌和真空張緊裝置)的模型，結合球鍵合工藝過程，分2個狀態(tài)對送絲系統(tǒng)進行受力分析。
　　最后，設計了送絲系統(tǒng)的機構、氣動控制系統(tǒng)及電氣控制系統(tǒng)；并進行實驗驗證了金線在氣體導軌和真空張緊裝置內受力模