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1、中南大學(xué)博士學(xué)位論文CF射頻等離子體硅橡膠表面疏水疏油改性研究姓名:高松華申請(qǐng)學(xué)位級(jí)別:博士專業(yè):凝聚態(tài)物理指導(dǎo)教師:聞立時(shí)雷明凱20080901中南人學(xué)博t論文摘要擊、濺射或刻蝕作用大大加強(qiáng),在試樣表面通過(guò)斷鍵作用產(chǎn)生活性基點(diǎn)并形成硅氟結(jié)構(gòu)的作用和對(duì)碳氟官能團(tuán)的剝離作用強(qiáng)于感性耦合CF4等離子體工藝。比較兩種不同耦合方式CF4射頻等離子體改性硅橡膠試樣,射頻容性耦合等離子體改性硅橡膠試樣表面雙疏性能明顯優(yōu)于射頻感性耦合工藝:在容性耦合
2、CF4等離子體200W直接處理5min的工藝條件下,得到最佳表面疏水疏油性能,對(duì)應(yīng)靜態(tài)接觸角測(cè)量值從原始未改性試樣的10070、6160分別提高到15020、12360。總之,雖然兩種不同耦合方式CF4射頻等離子體處理工藝有所區(qū)別,但都是通過(guò)增加表面含氟非極性官能團(tuán)含量和表面粗糙度兩個(gè)因素,降低硅橡膠表面能,提高試樣表面與水和油的靜態(tài)接觸角的大小(即表面雙疏性能)。射頻容性耦合CF4等離子體對(duì)硅橡膠雙疏改性效果優(yōu)于射頻感性耦合工藝,主要
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