版權說明:本文檔由用戶提供并上傳,收益歸屬內容提供方,若內容存在侵權,請進行舉報或認領
文檔簡介
1、復旦大學碩士學位論文等離子體浸沒注入對材料表面改性的研究姓名:李慧申請學位級別:碩士專業(yè):材料物理與化學指導教師:吳曉京20080515AbstractAbstractPlasmaimmersionionimplantation(PIII)isanewlydevelopedtechniqueformaterialstransformationThistechniquehastheobviousadvantagesofhighimplan
2、tation—doseandlowimplantation—voltageItwasfirstlyusedinimprovingthemechanicalfeaturesofmetalmaterials,andthenwasappliedinprocessingbiologicalmaterials,ceramicsandmacromoleculematerialsTheapplicationinmicroelectronicshasb
3、ecomepopularinrecentyearsWesimulatedtheimplantationprocessinmaterials肫alsoconstructedthePIIIequipmentwithourpartnersanddidalotoftestingsbeforeexperimentsThen,someexperimentsweredoneonthisequipmenttochangethecharacteristi
4、csofsomephotoelectricalmaterialsPtypetransparentmetaloxidesarethemainbottleneckinthisfieldWetriedtodopeN2inIn203nano—filmsbyPIIInechangesofresistanceandtransmittancewereanalyzedinthisPaperWealsotriedtodopeN2iIlZn0nanofil
5、msbyPIIIThehalltransformationsofZnOnanofilmswereobviousPossiblemechanismswerealsodiscussedMoreattemptsinhydroacidfreemethodhavebeenmadeforthepreparationofporoussilicon(PS)DifferentetchantdosesgeneratedPSstructureswithdif
溫馨提示
- 1. 本站所有資源如無特殊說明,都需要本地電腦安裝OFFICE2007和PDF閱讀器。圖紙軟件為CAD,CAXA,PROE,UG,SolidWorks等.壓縮文件請下載最新的WinRAR軟件解壓。
- 2. 本站的文檔不包含任何第三方提供的附件圖紙等,如果需要附件,請聯系上傳者。文件的所有權益歸上傳用戶所有。
- 3. 本站RAR壓縮包中若帶圖紙,網頁內容里面會有圖紙預覽,若沒有圖紙預覽就沒有圖紙。
- 4. 未經權益所有人同意不得將文件中的內容挪作商業(yè)或盈利用途。
- 5. 眾賞文庫僅提供信息存儲空間,僅對用戶上傳內容的表現方式做保護處理,對用戶上傳分享的文檔內容本身不做任何修改或編輯,并不能對任何下載內容負責。
- 6. 下載文件中如有侵權或不適當內容,請與我們聯系,我們立即糾正。
- 7. 本站不保證下載資源的準確性、安全性和完整性, 同時也不承擔用戶因使用這些下載資源對自己和他人造成任何形式的傷害或損失。
最新文檔
- 采用等離子體浸沒注入方法對材料進行改性的研究.pdf
- 等離子體浸沒注入技術對半導體材料的改性研究.pdf
- 等離子體浸沒離子注入對ITO的表面改性及功函數變化機理研究.pdf
- 等離子體浸沒式離子注入和等離子體磁性質的研究.pdf
- 等離子體浸沒離子注入改性氧化銦錫薄膜實驗研究.pdf
- 軸承部件等離子體浸沒離子注入批量改性均勻性研究.pdf
- 等離子體-離子復合注入不銹鋼表面改性研究.pdf
- 7A04鋁合金等離子體浸沒離子注入與沉積改性研究.pdf
- 等離子體基離子注入表面改性層的數值模擬研究.pdf
- 鈦氧薄膜表面氨等離子體浸沒離子注入以及生物化修飾.pdf
- 等離子體浸沒離子注入方法制備p型ZnO薄膜材料的研究.pdf
- 連續(xù)擠壓模具等離子體材料表面改性研究.pdf
- 純鐵高頻低壓等離子體浸沒離子注入及氮化研究.pdf
- 低溫等離子體對聚酯絲網表面改性研究.pdf
- 基于等離子體超材料的人工表面等離子體研究.pdf
- 利用低溫等離子體技術對聚氨酯生物材料的表面改性.pdf
- 等離子體浸沒離子注入技術在ZnO薄膜p型改性方面的應用研究.pdf
- 鈦合金等離子體浸沒離子注入表面力學性能與抗氧化性能.pdf
- 等離子體浸沒離子注入對AZO透明導電薄膜的功函數調控及其機理研究.pdf
- 地鐵盾構刀具等離子體材料表面改性研究及應用.pdf
評論
0/150
提交評論