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1、隨著信息時(shí)代的到來,微細(xì)加工技術(shù)的特征尺寸變得越來越細(xì),加工尺寸進(jìn)入亞微米以至納米級,先進(jìn)的制造科學(xué)與技術(shù)顯得越來越重要.當(dāng)今的先進(jìn)制造技術(shù)是集光學(xué)、機(jī)械學(xué)、電子學(xué)、計(jì)算機(jī)控制技術(shù)等于一體的綜合技術(shù),微、納加工技術(shù)的發(fā)展,尤其是各種光刻技術(shù)的發(fā)展離不開精密工件臺(tái)技術(shù)的發(fā)展和進(jìn)步.本文介紹了精密工件臺(tái)技術(shù)在國內(nèi)外的研究情況,系統(tǒng)地闡明了精密工件臺(tái)中的關(guān)鍵技術(shù)—精密測量技術(shù)、直線驅(qū)動(dòng)技術(shù)、直線導(dǎo)向技術(shù)、微位移技術(shù)、控制技術(shù)的工作原理、結(jié)構(gòu)、
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