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1、場(chǎng)發(fā)射顯示器(Field Emission Display，F(xiàn)ED)具有輕薄、功耗小、圖象質(zhì)量好等優(yōu)越的顯示性能，被認(rèn)為是下一代理想的平板顯示器。本論文首先介紹了FED的工作原理和器件結(jié)構(gòu)，并回顧了FED的研究進(jìn)展。為了滿足高分辨率、高亮度分立柵極結(jié)構(gòu)FED的研究要求，本論文提出了一種新型的高分辨柵極基板的制作方法。我們采用不銹鋼作為柵極基板材料，采用薄膜和厚膜工藝在基板上制備出擊穿電壓大于1200 V的柵極絕緣層。使用光刻工藝和熱蒸發(fā)
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