基于DSP的等離子體加工電源控制系統(tǒng)的設(shè)計(jì)和研究.pdf

1、等離子體加工技術(shù)以其優(yōu)越的性能，廣泛應(yīng)用于能源、材料、物質(zhì)、環(huán)境等諸多專業(yè)領(lǐng)域。而目前這些領(lǐng)域中采用的等離子體加工電源已經(jīng)不能滿足其發(fā)展的需求，數(shù)字化、智能化的等離子體加工電源已經(jīng)成為發(fā)展趨勢(shì)。
　　本文在DC/DC變換器主電路的基礎(chǔ)上，以TI公司的高性能DSP-TMS320F2812為核心控制芯片，設(shè)計(jì)了等離子體加工電源的數(shù)字控制系統(tǒng)，研究了等離子體加工電源的智能化控制策略。
　　首先分析了等離子體的負(fù)載特性，得到了磁控濺

2、射鍍膜工藝對(duì)電源的要求。然后采用狀態(tài)空間平均法建立了電源系統(tǒng)的數(shù)學(xué)模型，設(shè)計(jì)了其電流單閉環(huán)控制的PI參數(shù)，并針對(duì)等離子體的負(fù)載特性，研究了基于電容電荷平衡原理的新型控制算法，提出了復(fù)合控制策略，并對(duì)其進(jìn)行了Matlab的仿真分析，結(jié)果表明使用復(fù)合控制策略的系統(tǒng)達(dá)到了良好的輸出性能。在此基礎(chǔ)上，結(jié)合磁控濺射靶電源的控制需求，采用DSP控制技術(shù)，設(shè)計(jì)了磁控濺射靶電源的外圍控制系統(tǒng)，包括模擬信號(hào)調(diào)理電路、驅(qū)動(dòng)電路、顯示電路、保護(hù)電路、存儲(chǔ)電路