基于3-RRR型高精度微動(dòng)平臺(tái)的壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)控制.pdf

1、近年來(lái)，并聯(lián)機(jī)構(gòu)的利用和發(fā)展越來(lái)越受到人們的重視，其在各個(gè)領(lǐng)域的應(yīng)用非常廣泛，主要原因是由于其整體剛度相對(duì)比較大、執(zhí)行器所承載的能力很強(qiáng)、運(yùn)行操作相對(duì)比較簡(jiǎn)單等優(yōu)點(diǎn)。但同時(shí)因其是一個(gè)多輸入多輸出、存在嚴(yán)重的非線性、強(qiáng)耦合系統(tǒng)，很大程度上影響了并聯(lián)機(jī)器人更廣闊地應(yīng)用。
　　本文主要通過(guò)對(duì)3-RRR型高精度微動(dòng)平臺(tái)的壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)控制研究。
　　首先對(duì)并聯(lián)機(jī)器人現(xiàn)在的廣泛應(yīng)用進(jìn)行了介紹并說(shuō)明了存在的主要問(wèn)題和現(xiàn)狀等。
　　其

2、次介紹了平面并聯(lián)機(jī)構(gòu)的運(yùn)動(dòng)學(xué)分析基本知識(shí)及進(jìn)行了微運(yùn)動(dòng)學(xué)分析。
　　然后分別闡述了微位移驅(qū)動(dòng)器的分類、微動(dòng)平臺(tái)的發(fā)展、壓電陶瓷的遲滯、蠕變、位移非線性等特性。接著詳述了微動(dòng)平臺(tái)的硬件組成和構(gòu)建。
　　最后是控制方法的設(shè)計(jì)及實(shí)驗(yàn)結(jié)果和分析?？刂品椒ǖ脑O(shè)計(jì)與實(shí)驗(yàn)分析是本論文的核心。
　　論文所采用的控制方法是PID閉環(huán)控制，另外還在PID控制方法的基礎(chǔ)上進(jìn)行改進(jìn)，設(shè)計(jì)出了另一種控制方法，即模糊自整定PID控制。所有控制方法