微小零件平面度精密測(cè)量裝置研究與設(shè)計(jì).pdf

1、對(duì)于航空航天靜壓軸承、靜壓導(dǎo)軌中的氣浮元器件等，都具有精度高、加工誤差難于檢測(cè)的特點(diǎn)。當(dāng)零件的尺寸小，平面度優(yōu)于1μm時(shí)，常規(guī)的平晶難于定量檢測(cè)。目前對(duì)于小尺寸零件平面度檢測(cè)可采用輪廓儀、超精密測(cè)量?jī)x、臺(tái)階儀等設(shè)備，但是其價(jià)格卻十分的昂貴，并且大多測(cè)量?jī)x器都是從國(guó)外引進(jìn)，工程應(yīng)用成本高，不適合推廣應(yīng)用。在低成本下研究微小零件平面度高精度測(cè)量對(duì)于我國(guó)工業(yè)的發(fā)展有著深遠(yuǎn)意義。
　　本文設(shè)計(jì)了一種小尺寸零件平面度精密測(cè)量裝置，在滿足低成

2、本的前提下實(shí)現(xiàn)高精度測(cè)量，為小尺寸零件平面度的測(cè)量提供一種便捷、精確的測(cè)量手段。該裝置采用二維柔性導(dǎo)向機(jī)構(gòu)做為平面測(cè)量基準(zhǔn)，通過(guò)微分頭驅(qū)動(dòng)工作臺(tái)實(shí)現(xiàn)二維平面掃描運(yùn)動(dòng)，測(cè)試并分析了導(dǎo)向機(jī)構(gòu)在x、y方向的導(dǎo)向精度，使用LVDT傳感器結(jié)合AD698設(shè)計(jì)一維測(cè)頭，由測(cè)力可調(diào)的電感測(cè)頭測(cè)量工件表面高度變化。采用標(biāo)準(zhǔn)平晶作為被測(cè)件在10mm×10mm范圍內(nèi)進(jìn)行測(cè)量，對(duì)測(cè)量數(shù)據(jù)應(yīng)用最小二乘法進(jìn)行平面度評(píng)價(jià)，得到設(shè)計(jì)的測(cè)量裝置的測(cè)量不確定度為0.644