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1、該文以網(wǎng)板自動(dòng)對(duì)板過程中位置偏差檢測(cè)及整個(gè)系統(tǒng)控制技術(shù)的研究與實(shí)現(xiàn)為論題,討論了在玻璃母板上設(shè)計(jì)差動(dòng)光柵結(jié)構(gòu),借助差動(dòng)摩爾信號(hào)判斷幾何體在平面坐標(biāo)中三自由度方向(水平、垂直和角度)微小位置偏差的檢測(cè)方法.根據(jù)被控對(duì)象模型的不確定性,運(yùn)動(dòng)過程的非線性、復(fù)雜性特性,詳細(xì)分析了各種可能的位置偏差關(guān)系情況,提出了基于知識(shí)庫(kù)的專家系統(tǒng)方案并給出了相應(yīng)控制流程.在控制執(zhí)行部分,采用了步進(jìn)電機(jī)大步驅(qū)動(dòng)與細(xì)分步驅(qū)動(dòng)相結(jié)合的方式,兼顧了實(shí)時(shí)性與定位精度兩
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