光刻機橡膠隔振墊靜態(tài)及整機動態(tài)特性分析與優(yōu)化.pdf

1、光刻機是太陽能電池生產(chǎn)的關鍵設備，而主基板與工件臺是光刻機的核心部件。整機框架為主基板與工件臺的支撐部件，其內(nèi)部風機振動影響主基板的穩(wěn)定性與工件臺的準確定位。橡膠墊安裝在整機框架與主基板之間用來隔振，其承載特性直接影響主基板與工件臺工作面的水平度，進而影響光刻機加工精度。主基板與工件臺的振動響應，結(jié)構(gòu)低階模態(tài)頻率是反映光刻機動態(tài)特性的關鍵指標，亦會影響光刻機加工精度。因此，為了提高光刻機加工精度與系統(tǒng)穩(wěn)定性，對光刻機橡膠隔振墊靜態(tài)特性與

2、光刻機動態(tài)特性進行分析與優(yōu)化顯得十分必要。
　　 首先，通過有限元分析軟件Pro/Mechanica對光刻機進行自重下的靜態(tài)特性分析，驗證了光刻機微孔發(fā)泡橡膠隔振墊的強度設計不合理，對此將其更換為密實橡膠材料，并進行同樣條件的靜態(tài)特性分析，分析結(jié)果表明密實橡膠隔振墊承載特性較好，且強度設計合理。其次，對光刻機進行模態(tài)與諧響應分析，旨在了解結(jié)構(gòu)的固有振動特性，并通過激勵點與測量點的位移一頻率曲線驗證了橡膠墊的高頻隔振特性。最后，以