雙層位相光柵分束器設(shè)計(jì)及器件制作研究.pdf_第1頁
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文檔簡(jiǎn)介

1、位相型達(dá)曼光柵分束器由于衍射效率高、分束強(qiáng)度均勻性不受入射光波分布影響等特點(diǎn)已成為目前廣泛使用的分束器件。雙層位相光柵分束器由于引入了更多的設(shè)計(jì)自由度，可有效的提高設(shè)計(jì)級(jí)次的衍射效率，提高器件性能。
　　本文從普通光柵的衍射理論出發(fā)，基于標(biāo)量衍射理論對(duì)達(dá)曼光柵的分束特性進(jìn)行了探討，進(jìn)而引入雙層結(jié)構(gòu)增加設(shè)計(jì)自由度以提高分束性能。通過遺傳算法對(duì)光柵周期內(nèi)的突變坐標(biāo)進(jìn)行了優(yōu)化設(shè)計(jì)，并對(duì)設(shè)計(jì)結(jié)果進(jìn)行了數(shù)值模擬。
　　利用電子束直寫掩

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