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文檔簡(jiǎn)介
1、本課題研究的是應(yīng)用于紫外可見(jiàn)望遠(yuǎn)系統(tǒng)的濾光膜,為滿足濾光膜的要求,在薄膜設(shè)計(jì)中對(duì)幾種常用紫外薄膜材料進(jìn)行了對(duì)比研究,選定高低折射率材料分別為HfO2和MgF2。以膜系設(shè)計(jì)理論為基礎(chǔ),結(jié)合針?lè)▋?yōu)化,通過(guò)膜堆的疊加展寬了反射帶,設(shè)計(jì)出濾光膜的膜系。在薄膜制備中,通過(guò)多次實(shí)驗(yàn),優(yōu)化各項(xiàng)工藝參數(shù)減少吸收情況,使用離子輔助沉積提高了成膜質(zhì)量,并通過(guò)對(duì)工藝參數(shù)精確控制,提高了膜厚的控制精度。
在φ210mm的石英基底上制備254nm反射率
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