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文檔簡介
1、為了提高紅外探測器的靈敏度,本文針對(duì)紅外探測器元件濾光膜的技術(shù)要求,采用Si和YbF3的膜料組合,依據(jù)薄膜理論,設(shè)計(jì)干涉截止濾光膜,滿足了三個(gè)波段對(duì)光學(xué)性能的要求,并且在實(shí)際的制備過程中,優(yōu)化了真空室內(nèi)的真空度、烘烤溫度和基底溫度、Si和YbF3的蒸發(fā)速率、以及離子輔助沉積等工藝參數(shù)。通過多次實(shí)驗(yàn)研究,對(duì)設(shè)備的本身誤差進(jìn)行分析修正,提高了蒸鍍Si和YbF3時(shí)的膜厚晶控控制精度,在藍(lán)寶石基底上成功鍍制了1064nm透射率為91.5%、12
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