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文檔簡介
1、現(xiàn)代制造業(yè)對加工精度的要求日益提高，測量精度是影響加工精度的一個關(guān)鍵。平面度誤差是形貌誤差的一個重要的評定指標(biāo)，在一些條件下，對工件的精度具有絕對的影響。目前，小平面平面度的高精度測量已經(jīng)完善，其主要方法是光干涉法。大平面平面度的測量方法很多，主要有水平儀法、自準(zhǔn)直儀法、光軸法、液面法、多測頭誤差分離法、表橋法及跨步儀等方法，其中能達(dá)到高精度方法并不多，因此，本文提出了一種新的基于液面法的高精度大平面平面度測量方法。
與基
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