超精密機床液體靜壓導軌的設計與可靠性分析.pdf

1、超精密加工技術在現(xiàn)代工業(yè)中占有重要地位，決定超精密加工技術的關鍵是超精密機床，而超精密機床的核心部件是導軌。液體靜壓導軌運動具有高剛度、高精度、低磨損、長壽命、減震吸振效果好等優(yōu)點，因此運用廣泛。本文以廣東省微納加工技術與裝備重點實驗室自主研發(fā)的NMM500五軸機床液體靜壓導軌為研究對象，主要從以下幾方面的內容進行了研究:
　　(1)對各種類型的液體靜壓導軌進行了詳細的分析和綜合的比較。對NMM500五軸機床液體靜壓導軌進行了三維

2、建模設計，并對導軌的各參數(shù)進行了計算。介紹了液體靜壓導軌的供油系統(tǒng)及毛細管節(jié)流器的設計。
　　(2)對液體靜壓導軌進行了螺栓預緊力仿真分析，得出了導軌變形曲線。分析了實際導軌面的直線度，建立了導軌運動的簡化模型。并根據(jù)油膜承載的相關理論建立數(shù)學模型，計算出了液體靜壓導軌運動的直線度誤差。
　　(3)介紹了液體靜壓導軌的熱處理、表面刮研處理、安裝與修正。對液體靜壓導軌表面和液體靜壓導軌運動的直線度誤差進行了檢測。重點闡述了實驗