差動電容式加速度傳感器測量系統的研究與應用.pdf

1、傳感器技術作為現代科學技術及各項領域的重要技術基礎,是當今世界上令人矚目、迅猛發(fā)展的一種高新技術,是一個國家科學技術發(fā)展和綜合實力的重要標志之一。作為傳感器的一個重要分支,加速度傳感器受到了越來越多的關注。
　　電容式加速度傳感器因其靈敏度高、功耗低、溫漂小、結構簡單可靠、非侵入式安裝等特點,一直是加速度傳感器敏感結構的設計重點。論文在分析變間隙差動電容式加速度傳感器原理及傳感器輸出信號特點的基礎上,針對微小電容變化量的測量,設計

2、并制作了改進型張弛振蕩測量電路;并對電路進行了性能測試,測試結果表明該電路在靈敏度、分辨率、非線性度、零漂等方面均具有良好性能。針對測量電路的輸出信號,設計了以 DSP為核心的數據采集與處理系統,實現測量數據的處理及上傳功能。上位機基于LabVIEW虛擬儀器軟件設計,實現串口數據的讀取、文本與曲線結合的顯示以及測量數據完整存儲等功能。最后,對整個測量系統進行標定和應用實驗驗證,結果表明,所設計的差動電容式加速度傳感器測量系統運行良好,可