

已閱讀1頁,還剩61頁未讀, 繼續(xù)免費閱讀
版權說明:本文檔由用戶提供并上傳,收益歸屬內容提供方,若內容存在侵權,請進行舉報或認領
文檔簡介
1、電容式微機械加速度傳感器是重要的慣性器件之一,具有體積小、成本低、功耗低等優(yōu)點,在生產生活各個領域得到了廣泛的應用。隨著科學技術的發(fā)展,對微加速度計提出了越來越高的要求,穩(wěn)定性成為制約加速度計性能的關鍵因素之一,包括結構耦合靈敏度、零點穩(wěn)定性和系統(tǒng)的魯棒性等。
本文研究了加速度計非線性阻尼、結構支撐梁、靜電力負剛度以及工藝誤差等對傳感器結構機械穩(wěn)定性的影響。設計了一種基于PID反饋控制的閉環(huán)檢測系統(tǒng)模型,并推導了傳感器系統(tǒng)傳輸
2、函數,對系統(tǒng)進行分析,并用MATLAB軟件進行了仿真,重點研究了PID控制器對系統(tǒng)穩(wěn)定性的影響及其補償作用。結果表明該反饋控制系統(tǒng)可以有效的改善系統(tǒng)帶寬和穩(wěn)定裕度,減小系統(tǒng)輸出延遲和階躍響應時間,很好的調節(jié)系統(tǒng)阻尼特性。
在此基礎上提出了一種高穩(wěn)定性差分電容式六梁加速度計結構。對該結構進行優(yōu)化設計,使用有限元軟件ANSYS進行了靜態(tài)和模態(tài)仿真,并對該結構的機械穩(wěn)定性進行了分析,結果表明X軸和Z軸的交叉耦合靈敏度分別只有0.04
溫馨提示
- 1. 本站所有資源如無特殊說明,都需要本地電腦安裝OFFICE2007和PDF閱讀器。圖紙軟件為CAD,CAXA,PROE,UG,SolidWorks等.壓縮文件請下載最新的WinRAR軟件解壓。
- 2. 本站的文檔不包含任何第三方提供的附件圖紙等,如果需要附件,請聯(lián)系上傳者。文件的所有權益歸上傳用戶所有。
- 3. 本站RAR壓縮包中若帶圖紙,網頁內容里面會有圖紙預覽,若沒有圖紙預覽就沒有圖紙。
- 4. 未經權益所有人同意不得將文件中的內容挪作商業(yè)或盈利用途。
- 5. 眾賞文庫僅提供信息存儲空間,僅對用戶上傳內容的表現方式做保護處理,對用戶上傳分享的文檔內容本身不做任何修改或編輯,并不能對任何下載內容負責。
- 6. 下載文件中如有侵權或不適當內容,請與我們聯(lián)系,我們立即糾正。
- 7. 本站不保證下載資源的準確性、安全性和完整性, 同時也不承擔用戶因使用這些下載資源對自己和他人造成任何形式的傷害或損失。
最新文檔
- 新型Z軸差分電容式加速度傳感器研究.pdf
- 電容式微加速度計的熱穩(wěn)定性研究.pdf
- 電容式微機械加速度傳感器檢測電路研究.pdf
- Sigma-delta電容式微加速度傳感器系統(tǒng)研究.pdf
- 硅基差分電容式加速度傳感器的研究與設計.pdf
- MEMS電容式加速度傳感器檢測電路研究.pdf
- 電容式加速度傳感器的優(yōu)化設計.pdf
- 三維電容式微加速度傳感器的設計與相關特性研究.pdf
- 基于MEMS技術的差分電容式加速度微傳感器的研究和設計.pdf
- 電容式微型加速度傳感器的建模仿真及優(yōu)化設計研究.pdf
- 硅基電容式三軸加速度傳感器研究.pdf
- sdi電容加速度傳感器
- 電容式微加速度計低壓差穩(wěn)壓器ASIC設計.pdf
- 硅微電容式加速度傳感器檢測電路研究.pdf
- 電容式加速度傳感器檢測電路的設計與研究.pdf
- 硅微力平衡電容式加速度傳感器的研究.pdf
- 電容式微加速度計的CAD研究.pdf
- 基于MEMS技術的三軸電容式加速度傳感器研究.pdf
- 硅電容式加速度傳感器及其讀出電路設計研究.pdf
- 水銀電容加速度傳感器原理的研究.pdf
評論
0/150
提交評論