大尺寸光學(xué)元件面形檢測平臺開發(fā)及誤差補(bǔ)償研究.pdf

1、隨著非球面等光學(xué)元件的廣泛應(yīng)用，光學(xué)元件正向小型高精度化和大型高精度化的方向發(fā)展，因此對光學(xué)元件的加工與檢測提出了更高的要求。各國投入了大量的人力、物力研究光學(xué)元件的加工和檢測，但目前國內(nèi)的相關(guān)研究主要針對小尺寸元件的檢測，對大尺寸元件的檢測技術(shù)仍處于起步階段。本文基于自主研發(fā)的大尺寸光學(xué)元件面形檢測平臺，對檢測平臺機(jī)構(gòu)誤差進(jìn)行了分析和測量，同時對誤差建模與誤差補(bǔ)償技術(shù)進(jìn)行了系統(tǒng)研究，主要工作如下:
　　1.根據(jù)大尺寸光學(xué)元件面形

2、檢測的特點和要求，完善了檢測平臺的整體設(shè)計，包括總體結(jié)構(gòu)，檢測部件、控制和測量系統(tǒng)設(shè)計等。在原結(jié)構(gòu)的基礎(chǔ)上，對Z軸運(yùn)動和支撐機(jī)構(gòu)進(jìn)行優(yōu)化，同時開發(fā)了控制測量軟件。測量初始化后，合理的測量路徑，適用于不同類型光學(xué)元件的測量。
　　2.對檢測平臺機(jī)構(gòu)誤差進(jìn)行分析，同時測量了部分誤差單項。根據(jù)檢測平臺數(shù)學(xué)模型，建立了基于球桿儀的空間總體誤差參數(shù)模型，根據(jù)模型進(jìn)行機(jī)構(gòu)各單項誤差系數(shù)的識別，并提出誤差補(bǔ)償方案。針對總體機(jī)構(gòu)誤差進(jìn)行了補(bǔ)償實驗