一種新型超精密光學(xué)元件瑕疵檢測裝置開發(fā).pdf

1、精密光學(xué)元件表面質(zhì)量的高低對激光系統(tǒng)的運行有極其重要的影響，目前對光學(xué)元件表面瑕疵的檢測，多采用的是人眼觀察的方法，此方法存在效率低，檢測結(jié)果跟人的經(jīng)驗有直接的關(guān)系，存在檢測結(jié)果不穩(wěn)定的現(xiàn)象，同時該激光系統(tǒng)中光學(xué)元件種類繁多，每種光學(xué)元件又有不同的規(guī)格，若用人眼檢測，不僅效率低同時也會帶來檢測質(zhì)量參差不齊的現(xiàn)象，因此需要一種新的自動化程度高的檢測裝置代替人眼檢測。
　　 考慮到光學(xué)元件處于超潔凈環(huán)境，本裝置采用機器視覺的方式對光

2、學(xué)玻璃表面質(zhì)量檢測，以防止二次污染?？紤]到光學(xué)元件的規(guī)格，本裝置采用線陣CCD(charge coupled device，電荷耦合器件)相機相對光學(xué)玻璃運動的方式完成采樣；采用自行設(shè)計的玻璃夾具固定光學(xué)元件以及三維步進電機帶動的平移臺實現(xiàn)相機在笛卡爾坐標系內(nèi)的移動，最終實現(xiàn)線陣相機對夾具上的光學(xué)元件的對焦以及掃描，完成采樣。采樣完成后，圖像工作站對采集的圖像進行拼接等處理，最終給出光學(xué)玻璃潔凈度等級。
　　 本文的主要工作如下

3、：
　　 ①探討了圖像采集的關(guān)鍵技術(shù)，設(shè)計出基于機器視覺的檢測裝置，完成硬件部分的設(shè)計以及相關(guān)分析，包括相機、光源的選擇以及整個裝置的結(jié)構(gòu)設(shè)計。
　　 ②用于采用的是線陣相機，每次掃描是的圖像是幾個像素寬的小圖像，待整個光學(xué)元件掃描后，需要對眾多小圖像拼接，組合成一幅完整的光學(xué)元件圖像，以便下一步的處理，在本裝置中，采用的是絲杠精確定位和試驗驗證的的方法，完成圖像的拼接。
　　 ③采用canny算子和snake模