超精密主軸回轉(zhuǎn)誤差光學(xué)干涉測(cè)量方法研究.pdf

1、主軸回轉(zhuǎn)誤差是影響加工零件精度的重要因素之一，研究主軸回轉(zhuǎn)誤差對(duì)于尋找誤差來(lái)源、預(yù)測(cè)加工零件表面形狀誤差及提高超精密機(jī)床加工精度等具有重要意義，本文以超精密飛切機(jī)床為研究對(duì)象，對(duì)空氣靜壓主軸回轉(zhuǎn)誤差進(jìn)行研究。
　　針對(duì)機(jī)床工作原理及空氣靜壓主軸結(jié)構(gòu)特性，主軸傾角誤差對(duì)加工精度影響最大，本文提出一種基于干涉條紋的超精密靜壓主軸回轉(zhuǎn)誤差測(cè)量新方法，通過(guò)分析干涉條紋形狀變化規(guī)律，建立基于干涉圖像處理的主軸回轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)誤差求解模型，從而獲得主

2、軸傾角誤差。
　　基于移相干涉測(cè)量原理，通過(guò)理論建模，建立了干涉條紋與主軸轉(zhuǎn)子運(yùn)動(dòng)規(guī)律之間的數(shù)學(xué)模型，并對(duì)干涉條紋形狀進(jìn)行仿真分析，仿真結(jié)果與實(shí)驗(yàn)現(xiàn)象觀察一致，從而印證了新方法的準(zhǔn)確性與可靠性。
　　對(duì)干涉條紋進(jìn)行灰度化處理、平滑濾波、膨脹腐蝕、邊緣檢測(cè)等圖像處理步驟獲取邊緣清晰、連續(xù)性較好的干涉條紋圖像，并在相對(duì)坐標(biāo)系下求解出干涉條紋的間距和方向，根據(jù)所建立的數(shù)學(xué)模型求解出主軸傾角誤差。
　　光學(xué)平晶的裝配誤差是影響