基于數(shù)字圖像處理的水晶晶片缺陷檢測(cè).pdf

1、碩t論文荃于數(shù)字圖像處理的水晶晶片缺陷檢側(cè)摘要水晶，可以作為壓電材料使用，要求可用部分不小于6nlnlx6mm6mm，無(wú)色透明，沒(méi)有缺陷。它可以在一定頻率的電壓作用下振動(dòng)，把它切割成單晶片以后，可以制成晶振。但是晶片在切割過(guò)程中，受生產(chǎn)工藝的限制和其它因素的影響，常常會(huì)產(chǎn)生各種各樣的缺陷，包括裂紋、微小的缺角和站污等。這些微小缺陷會(huì)破壞晶體材料表面性能，甚至導(dǎo)致結(jié)晶構(gòu)造的變化，影響元件最終的工作精度和可靠性，所以首先要剔除帶有缺陷的水晶

2、晶片。論文概括介紹了晶片缺陷檢測(cè)中的常用方法，分析各種方法的優(yōu)缺點(diǎn)結(jié)合利弊，設(shè)計(jì)了新型的基于數(shù)字圖像處理的水晶晶片缺陷檢測(cè)系統(tǒng)闡述該系統(tǒng)硬件部分的工作原理，分析并選擇了攝像機(jī)，設(shè)計(jì)光源與照明方案，搭建完整的圖像采集平臺(tái)簡(jiǎn)要介紹了Windows的消息發(fā)送機(jī)制，建立消息發(fā)送窗口，實(shí)現(xiàn)圖像的自動(dòng)采集、判斷與結(jié)果返回功能。攝像機(jī)捕捉到的圖像信號(hào)通過(guò)USB接口上傳至計(jì)算機(jī)。上傳的水晶晶片樣品圖像經(jīng)過(guò)模式轉(zhuǎn)換、平滑濾波、邊緣檢測(cè)、二值化、特征提取與

3、分類(lèi)檢測(cè)等一系列步驟后，返回缺陷檢測(cè)的結(jié)果。其中，特征提取與分類(lèi)檢測(cè)是本文的研究難點(diǎn)。圖像的預(yù)處理階段與缺陷的模式識(shí)別階段均屬于數(shù)字圖像處理領(lǐng)域，在Visua!C什.NET環(huán)境下編程實(shí)現(xiàn)。關(guān)鍵詞:晶片缺陷，預(yù)處理，模式識(shí)別，特征提取，分類(lèi)檢測(cè)。聲明本學(xué)位論文是我在導(dǎo)師的指導(dǎo)下取得的研究成果，盡我所知，在本學(xué)位論文中，除了加以標(biāo)注和致謝的部分外，不包含其他人己經(jīng)發(fā)表或公布過(guò)的研究成果，也不包含我為獲得任何教育機(jī)構(gòu)的學(xué)位或?qū)W歷而使用過(guò)的材料