亞波長周期介質(zhì)光柵的偏振特性的研究.pdf

1、本文為了分析亞波長周期介質(zhì)光柵的衍射特性，采用FDTD(時(shí)域有限差分)方法，在三維直角坐標(biāo)系下，以30nm為網(wǎng)格大小，PML(完全匹配層)為吸收邊界條件，以一維FDTD隨時(shí)間逐步推進(jìn)的方式引入入射波，對于周期為240nm占空比為0．5材料為n=1．35的透光玻璃介質(zhì)的亞波長周期介質(zhì)光柵，以1550nm為波長偏振角度為45°的平行光進(jìn)行入射在深度分別為120nm，150nm，180nm,210nm的條件下所得到的衍射場進(jìn)行了模擬計(jì)算，得到

2、了電場不同方向上分量的大小和相對相位延遲，發(fā)現(xiàn)對于亞波長周期介質(zhì)光柵，其衍射性質(zhì)與入射光的偏振狀態(tài)相關(guān)，平行于光柵的電場分量相對相位延遲總是大于垂直于光柵的電場分量的相對相位延遲，對于其偏振變換性質(zhì)進(jìn)行了探討。提出了電子束光刻與反應(yīng)離子束刻蝕相結(jié)合的手段來制作亞波長介質(zhì)光柵，這種方式可以獲得較高的刻蝕精度，在電子束光刻后，然后采用濕法腐蝕的辦法將感光膠上的圖形轉(zhuǎn)移到沉積在石英片上的鉻膜上，最后由反應(yīng)離子束刻蝕將圖形轉(zhuǎn)移到石英片上。分析了