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1、大連理工大學(xué)碩士學(xué)位論文共面介質(zhì)阻擋放電應(yīng)用于薄膜制備的研究姓名:吳慶浩申請(qǐng)學(xué)位級(jí)別:碩士專(zhuān)業(yè):物理化學(xué)指導(dǎo)教師:朱愛(ài)民20070601共面介質(zhì)阻擋放電應(yīng)用于薄膜制備的研究StudyonCoplanarBarrierDischargeandItsApplicationtoFabricatingThinFilmsAbstraotCoplanardischarge,whichmaygeneratestablethinlayerplasmap
2、laysimportantrolesinHgfreelightrCsoBrCc,surfacetreatmentsandplasmaenhancedchemicalvapordeposition(PECVD),andSOOILAimingatapplyingthecoplanardiSchargetofabricatingthinfilmeoplanardischargereactorswercdesignedandinvestigat
3、edinthispapernleeoplanardischargereactorfabricatedinthispaperprovidesalowoostapproachforatmosphericpressureplasmaCVDwithstableanduniformdischargeandshowspromisingapplicationsWi也thehomemadecoplanardischargereactortheautho
4、rexploredthefabricationTi02thinfilmbyplasmaCVDTheprimaryresultsshowthatbecauseofthelowsaturatepressureoftetraisopropyltitanate(TIPT)atroomtemperature,itisdifficulttodepositlargeareauniformTi02thinfilmusingthepresentexper
5、imentsempHowevertheas—depositedTi02thinfilmsusingTiCkasTi群結(jié)ourceandthepresentexperimentsetuparehighlycrystallizationandshowgoodphotoeatalyticaetivilyWiththeselfmadecoplanardischargereactortheauthoralSOfabricatedsuccessfo
6、llyCFxthinfilmatatmosphericpressureandroomtemperaturenleCFxthinfilmsshowauniformandnanoporousstructurefromSEMobservationsXPSresultsindicatethatthequaternarycarbonatomsarethemainfunctionalgroupinthesurfaceofthefilmnlchydr
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