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1、蘇州大學(xué)博士學(xué)位論文雙頻容性耦合等離子體特性的實(shí)驗(yàn)研究姓名:袁強(qiáng)華申請(qǐng)學(xué)位級(jí)別:博士專業(yè):凝聚態(tài)物理指導(dǎo)教師:寧兆元辛煜20090501中文摘要雙頻容性耦含等離子體特性的實(shí)驗(yàn)研究調(diào)控難以實(shí)現(xiàn)。EEPF隨氣壓的演變表明,在較低的氣壓下以隨機(jī)加熱為主,在較高的氣壓下以碰撞加熱為主。對(duì)射頻感應(yīng)電流的測(cè)量表明,在較低的氣壓下還有等離子體串聯(lián)共振的加熱機(jī)制存在。等離子體參數(shù)隨徑向位置的分布則表明,等離子體沿徑向位置存在一定程度的不均勻性。2、利用
2、光強(qiáng)標(biāo)定的發(fā)射光譜技術(shù),研究了27/2、60/2及60/1356MHzCHF3放電等離子體中,驅(qū)動(dòng)頻率及功率對(duì)反應(yīng)基團(tuán)的調(diào)控行為。研究顯示,射頻頻率的選擇對(duì)等離子體中反應(yīng)基團(tuán)的形成有重要影響。在雙頻CCP中,低頻頻率對(duì)反應(yīng)基團(tuán)的調(diào)控起著更加重要的作用。在我們的27/2和60/2MHz放電研究中,改變21VIHz射頻功率可以有效地調(diào)控CHF3等離子體中的活性基團(tuán)F的相對(duì)密度及F/CF2相對(duì)密度之比。而這種對(duì)反應(yīng)基團(tuán)的調(diào)控行為在60/135
3、6MHz雙頻CCP中則不能實(shí)現(xiàn)。形成這種現(xiàn)象的原因可能是因?yàn)椋煌p頻CCP中電子能量分布函數(shù)有差異,而等離子體中的化學(xué)反應(yīng)過程對(duì)電子能量分布函數(shù)的變化非常敏感。研究顯示,在27/2MHz和60/2MHz雙頻CCP中,可能具有相似的電子能量分布函數(shù),而60/1356MHz雙頻CCP中的電子能量分布函數(shù)則有較大差別。3、利用質(zhì)譜技術(shù)對(duì)CHF3放電等離子體的反應(yīng)基團(tuán)作了研究。質(zhì)譜研究的結(jié)果顯示,在射頻驅(qū)動(dòng)的CHF3放電等離子體中,存在著豐富
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