微光學(xué)自適應(yīng)系統(tǒng)中基于PZT薄膜的微反射鏡單元工藝研究.pdf

1、微光學(xué)自適應(yīng)單元技術(shù)是基于MOEMS工藝的智能化微光學(xué)技術(shù)，它能實時校正波前像差，保持清晰的成像?；谖⒐鈱W(xué)自適應(yīng)單元技術(shù)而成的微光學(xué)自適應(yīng)系統(tǒng)，擁有傳統(tǒng)的自適應(yīng)光學(xué)系統(tǒng)所不具備的優(yōu)勢，具有廣闊的發(fā)展空間。 微反射鏡是微光學(xué)自適應(yīng)系統(tǒng)中的基本組成部分。本文闡述了微光學(xué)和自適應(yīng)光學(xué)系統(tǒng)的發(fā)展及應(yīng)用，敘述了微光學(xué)和自適應(yīng)光學(xué)的研究現(xiàn)狀和前景，比較了幾種微反射鏡的制作工藝以及各自的特點，通過實驗對比研究確立了基于硅基底的PZT薄膜制作

2、微光學(xué)反射鏡的方案。 基于硅基底的PZT薄膜微反射鏡利用PZT薄膜的逆壓電效應(yīng)，通過外加電壓使薄膜的厚度產(chǎn)生變化，對反射鏡面局部進行微調(diào)，實現(xiàn)波前相位控制。 PZT薄膜的制備原料是鈦酸丁酯(C4H9O)4Ti、乙酸鉛Pb(CH3COO)2·3H2O和異丙醇鋯Zr(OCH(CH3)2)4·(CH3)2CHOH，采用溶膠—凝膠法(Sol-Gel)制備薄膜。得到的溶膠通過旋涂、退火等技術(shù)處理得到單層薄膜，再經(jīng)過數(shù)次重復(fù)操作達到