環(huán)形拋光在線面形監(jiān)測(cè)技術(shù)的研究.pdf

1、移相干涉術(shù)是目前公認(rèn)的測(cè)量精度最高的光學(xué)檢測(cè)方法之一。光學(xué)車(chē)間內(nèi)環(huán)境復(fù)雜，實(shí)現(xiàn)車(chē)間內(nèi)在線檢測(cè)光學(xué)零件難度巨大。而動(dòng)態(tài)移相干涉測(cè)量技術(shù)直接解決了這一難題。動(dòng)態(tài)移相干涉測(cè)量技術(shù)利用同步的相位移動(dòng)，隔離了車(chē)間振動(dòng)帶來(lái)的大部分誤差。
　　神光Ⅲ點(diǎn)火計(jì)劃是我國(guó)關(guān)于激光打靶實(shí)現(xiàn)核聚變的重大項(xiàng)目。釹玻璃在神光Ⅲ主機(jī)中大量應(yīng)用，釹玻璃的加工任務(wù)緊迫而艱巨。然而釹玻璃在傳統(tǒng)環(huán)形拋光生產(chǎn)過(guò)程中，面形難以控制。反復(fù)的拋光加工和離線檢測(cè)給釹玻璃的生產(chǎn)效率

2、的提高帶來(lái)了巨大的困擾。本課題主要研究了一種車(chē)間在線的實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)釹玻璃拋光面面形變化的技術(shù)，以掌握釹玻璃拋光過(guò)程中面形的變化情況和提高釹玻璃的生產(chǎn)效率為目的。文章首先對(duì)現(xiàn)代釹玻璃加工現(xiàn)狀進(jìn)行了概述，并分析釹玻璃環(huán)形拋光加工中面形難以控制的難點(diǎn)。在比較不同的移相技術(shù)和算法的基礎(chǔ)上，提出了利用動(dòng)態(tài)移相干涉測(cè)量技術(shù)來(lái)實(shí)現(xiàn)釹玻璃車(chē)間在線檢測(cè)的方案。在設(shè)計(jì)方案的基礎(chǔ)上，搭建了一種基于4D動(dòng)態(tài)干涉儀的在線檢測(cè)實(shí)驗(yàn)系統(tǒng)。在釹玻璃樣品環(huán)形拋光過(guò)程中，提出