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文檔簡介
1、該文的工作主國圍繞時域相位輪廓術和傅立葉變換輪廓術兩種最常用的輪廓術進行的,所做的工作及成果大致可分為理論分析與實際應用兩部分.首先深入分析了傅立葉輪廓術和時域移相位輪廓術的基本原理,系統(tǒng)全面地闡述了影響兩種輪廓術測量精度的誤差因素.進行了如下三方面工作:(1)針對相位的求解,提出了基于微分算法原理的相位求解新方法,并將其成功應用于傅立葉輪廓術和時域相位輪廓術中;其次,針對解包裹時遇到的物體陰影缺陷,提出了在相位求解過程中用物體灰度圖來
2、消除陰影帶來誤差的新思路,并用實驗驗證.(2)針對傅立葉輪廓術中的特有的漏頻、混頻和柵欄效應,系統(tǒng)地闡述了誤差的消除方法,并提出采用行凱澤-貝賽爾加權可以更加簡單方便的消除漏頻效應;然后分析了CCD的非線性效應和積分抽樣效應所造成的測量誤差,并提出了相應的解決措施;另外,在消噪上,首次將小波理論應用于三維輪廓測量中,計算機仿真表明小波消噪優(yōu)于頻域消噪方法.(3)分析了采用相位測量輪廓術做為測量蔭罩三維輪廓的可行性,建立了基于時域相位測量
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