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文檔簡介
1、硅單晶是制造IC集成電路和太陽能電池的關(guān)鍵材料,隨著半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的快速發(fā)展需求量巨大。直拉單晶爐是制備硅單晶的主要設(shè)備,本課題主要目的是研究全自動硅單晶爐晶體直徑測量技術(shù)。本文討論了晶體直徑檢測系統(tǒng)的發(fā)展歷程,分析了當(dāng)前國內(nèi)外測徑技術(shù),了解到基于圖像處理計算的直徑測量技術(shù)是全自動單晶爐的核心技術(shù)之一。在測徑硬件平臺上,研究了TDR150型全自動單晶爐測徑平臺,并分別在嵌入式圖像處理平臺以及影像系統(tǒng)處理平臺上開展了測徑工作,另外考慮國內(nèi)用戶
2、價廉以及實用的要求,設(shè)計了一套基于PC機(jī)處理的圖像采集平臺,該平臺成本較低、安裝方便、實用性強(qiáng)。在測徑軟件算法上,TDR150型單晶爐測徑算法處理速度較慢,根據(jù)晶體生長圖像特點本文對其進(jìn)行了改進(jìn),并提出了種有效的新測徑算法,該算法采用了良好的光圈提取以及有效的圓擬合算法,處理結(jié)果良好、運行效率較高。作為項目的延伸,本課題還研究了硅料熔化過程檢測問題。當(dāng)前主要采用紅外傳感器檢測硅料熔化是否完成,該設(shè)備檢測效果有很大的改進(jìn)空間。本文利用測徑
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