電負性氣體射頻感性耦合放電不穩(wěn)定性研究.pdf

1、本課題組在過去開展了電正性氣體(Ar)射頻感性耦合放電模式轉(zhuǎn)化及受迫振蕩非線性研究，在此工作基礎(chǔ)上，本實驗研究電負性氣體(SF6)射頻感性耦合放電，討論了不同條件下等離子體不穩(wěn)定性。由此更加深入地理解射頻感性耦合等離子體的放電模式轉(zhuǎn)化及不穩(wěn)定性的產(chǎn)生機制，為電負性氣射頻感性耦合等離子體工藝提供了實驗基礎(chǔ)。
　　 在過去電負性氣體自振蕩工作中，僅研究了氣體壓強的變化對自振蕩的影響，并做了相關(guān)的理論分析，基于不同天線耦合強度的研究未

2、見報道。本論文利用Z-Scan測量系統(tǒng)，電流探頭以及Langmuir探針，通過測量等離子體吸收功率、天線電流、電壓、自振蕩的波形、頻率等多種參數(shù)，研究了匹配網(wǎng)絡(luò)、天線耦合強度、氣壓等多種因素對電負性氣體射頻感性耦合放電不穩(wěn)定性的影響。實驗中首先對匹配網(wǎng)絡(luò)及天線線圈的阻抗進行測量，計算出等離子體的凈吸收功率，提高了實驗結(jié)果的可靠性。實驗發(fā)現(xiàn)電負性氣體射頻感性耦合放電的自振蕩只出現(xiàn)在放電的負反饋區(qū)域。在不同的天線耦合強度下，電負性氣體的自振