光學(xué)自由曲面檢測(cè)光路方案及關(guān)鍵部件設(shè)計(jì)研究.pdf_第1頁(yè)
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1、自由曲面光學(xué)元件有諸多優(yōu)點(diǎn),在光學(xué)成像系統(tǒng)中使用時(shí),不僅可以有效校正系統(tǒng)像差、提高成像質(zhì)量,還可以減少系統(tǒng)單元數(shù)量及重量。在高性能照明系統(tǒng)設(shè)計(jì)中使用,可以有效提高光能利用率,為設(shè)計(jì)提供了相當(dāng)大的自由度。盡管如此,光學(xué)自由曲面還不能進(jìn)入到現(xiàn)代光學(xué)系統(tǒng)的主流中去,問(wèn)題之一就是高精度、快速檢測(cè)技術(shù)。
   本文通過(guò)對(duì)光學(xué)自由曲面面形特征及描述方法的學(xué)習(xí),總結(jié)了在光學(xué)設(shè)計(jì)中光學(xué)自由曲面的表達(dá)方式。研究了目前光學(xué)自由曲面的檢測(cè)方法,并進(jìn)行

2、分析比較,選出一種最具優(yōu)勢(shì)的方法--在干涉光路中引入微透鏡陣列產(chǎn)生多視場(chǎng)干涉圖檢測(cè)光學(xué)自由曲面。本文圍繞這一檢測(cè)方法進(jìn)行分析,得出在干涉光路中起關(guān)鍵作用的兩個(gè)光學(xué)元件:微透鏡陣列和有限共軛等暈型標(biāo)準(zhǔn)球面透鏡組。分別對(duì)這兩個(gè)元件進(jìn)行分析,首先研究了傳統(tǒng)標(biāo)準(zhǔn)球面透鏡組的特點(diǎn)和工作原理,分析了有限共軛等暈型標(biāo)準(zhǔn)球面透鏡組的特點(diǎn)及工作原理,通過(guò)對(duì)其進(jìn)行基本的像差分析,確定可行的光學(xué)結(jié)構(gòu),通過(guò)優(yōu)化分析,最終設(shè)計(jì)出兩組符合要求的標(biāo)準(zhǔn)球面透鏡組,PV

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