寬光束波前檢測子孔徑拼接技術(shù).pdf

1、長春理工大學碩士學位論文寬光束波前檢測子孔徑拼接技術(shù)姓名：鄭婉喆申請學位級別：碩士專業(yè)：光學工程指導教師：付躍剛20080401A B S T R A C TA tp r e s e n tl a r g ea p e r t u r ei n t e f f e r o m e t e r i s u s e d t ot e s tt h eq u a l i t yo fl a r g e a p e r t u r eo p t

2、 i c a ls y s t e m ，b u t t h i sm e t h o dm u s t p r o c e s s h i g h ·a c c u r a c ys t a n d a r d s u r f a c e ，i ti sd i f f i c u l tt om a n u f a c t u r e ，h a v i n g l o n g m a n u f a c t u r e a

3、n dh i g l l c o s t ．S o u s i n gas m a l l a p e r t u r e ，h i 曲p r e c i s i o n a n dh i g h r e s o l u t i o n i n t e r f e r o m e t e r t o r l 目2 0 v e r t h e l a r g e o p t i c a l c o m p o n e n t ’sw a

4、v e f r o n t p h a s ei n f o r m a t i o n , t h i si san e w t e s t i n gp r o c e s so fl a r g ea p e r t u r ec o m p o n e n t ．I tc o n t i n u e sh a v i n gh i g ha c c u r a c yo fi n t e r f e r o m e t r y

5、, a n dn e e d n ’tt o 峨t h e s t a n d a r ds B l ' f a c et h a ti ss a m ew i t ht o t a la p e r t u r e d i m e n s i o n , i t a l s oc 觚r e d u c e c o s t ．I tt h r o u g hs c a n n e d b e t w e e n t h et e

6、 s t i n gc o m p o n e n ta n d w a v e s u r f a c e ，o b t a i n e dd i f f e r e n ti n t e r f e r o m e t e r i m a g e s ，u s i n g t h e s u p e r p o s i t i o n p a r t o f t h e s e i n t e r f e r o m e t e r

7、 i n l a g e s ，e l i m i n a t e dt h er e l a t i v ei n c l i n ea n dp a r a l l e lm o v ea m o n g t h e md u r i n gs c a n n i n g , a c c o r d i n e ；l ys t i t c ha i m a g e ．O nt h eb a s i co f t h e o r ya

8、 n a l y s i s ，e s t a b l i s h i n gp h y s i c a lm o d e l a n dm a t h e m a t i cm o d e l ，a n a l o g u e r e a l b e a m p a t h , a c h i e v e s t h e s t i t c h i n g i n t e r f e r o m e t e r ．T h r o u

9、g h t h ec a l c u l a t i o ni t C a no b t a i nt h ep r e c i s i o ni s 4 ．3 2 ‰．i ta l s o d o n et h ep r e c i s i o na n a l y s i st ot h es t i t c h i n gi n t e r f e r o m e t e r ．K e y w o r d s ：w a v e f