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文檔簡介
1、鈮酸鋰晶體(LiNbO3)是一種集壓電、電光、非線性、光折變和熱釋電等性能于一身的多功能晶體。目前大量使用的鈮酸鋰晶體為同成分鈮酸鋰晶體,由于同成分鈮酸鋰晶體中缺少鋰,形成了大量本征缺陷,嚴(yán)重影響其性能。與同成分鈮酸鋰晶體相比,近化學(xué)計(jì)量比鈮酸鋰晶體的諸多物理性能明顯改善。從目前的研究報(bào)道來看,近化學(xué)計(jì)量比鈮酸鋰晶體的制備方法主要有三種:富鋰熔體生長法、助熔劑法和氣相平衡輸運(yùn)法(VTE)。其中VTE法由于工藝簡單、成本低、制備出的近化學(xué)
2、計(jì)量比鈮酸鋰晶體中的Li2O含量可達(dá)到49.9mol%,均勻性好,是制備近化學(xué)計(jì)量比鈮酸鋰晶體較實(shí)用的方法。但VTE法受離子固相擴(kuò)散速率慢的限制目前只能制備小厚度的晶體,而目前對于VTE方法的研究主要在于VTE工藝的優(yōu)化,VTE處理后晶片性能的改進(jìn),對于VTE過程中離子的擴(kuò)散機(jī)制的研究報(bào)道很少。
本文在鈮酸鋰晶體缺陷結(jié)構(gòu)的基礎(chǔ)上,對鈮酸鋰晶體中的離子擴(kuò)散機(jī)制進(jìn)行理論分析,并用實(shí)驗(yàn)進(jìn)行驗(yàn)證,主要工作如下。
第一
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