介質表面態(tài)對介質阻擋放電等離子體參數的影響研究.pdf

1、介質阻擋放電因其能夠方便、經濟、靈活地產生分布面積較大的低溫等離子體而得到越來越廣泛的應用,然而目前產生具有特征分布特性介質阻擋放電條件的指導性理論尚未建立,影響等離子體參數的因素也沒有形成統(tǒng)一而全面的認識。本文分析研究了施加電壓、電源頻率、氣體流速和氣體成分對大氣壓下重復脈沖介質阻擋放電等離子體參數的影響,并研究了介質表面態(tài)包括介質表面粗糙度和表面電導率對這些參數的影響。主要通過發(fā)射光譜法計算了等離子體微觀參數。
　　本研究在大

2、氣壓重復脈沖介質阻擋放電中,利用波爾茲曼曲線斜率法擬合了氬原子的電子激發(fā)溫度,重點分析了發(fā)射光譜主要譜線強度和電子激發(fā)溫度與施加電壓、電源頻率、氣體流速及氣體成分之間的關系。實驗發(fā)現,隨著施加電壓的增加電子激發(fā)溫度先降后升再下降;隨著電源頻率的升高電子激發(fā)溫度先下降后上升,上升階段的激發(fā)溫度均比下降階段高;氣體流速的增加對激發(fā)溫度的影響呈現先增后減趨勢;而氣體成份對激發(fā)溫度有較大影響。關于介質表面態(tài)對等離子體參數影響的研究,本文主要工作

3、集中于介質表面粗糙度和介質表面電導率等參數。實驗時通過不同號別的砂紙機械打磨待實驗介質表面,以產生不同的表面粗糙度。在不同的施加電壓下,分析其對電子激發(fā)溫度和分子振動溫度的影響。實驗結果表明隨著粗糙度的增加電子激發(fā)溫度和分子振動溫度都呈下降趨勢,分子振動溫度的下降較電子激發(fā)溫度劇烈。同樣,通過不同方塊電阻阻值的ITO玻璃改變介質表面電導率研究了其對等離子體參數的影響。實驗結果表明,隨著施加電壓的增加電子激發(fā)溫度下降,而分子振動溫度先下降