光學(xué)微掃描X射線實時成像系統(tǒng)研究.pdf

1、隨著被檢測工件如印制電路板、集成電路的集成度越來越高，電路的特征尺寸越來越小，對電路板等工業(yè)產(chǎn)品進行缺陷檢測的X射線實時成像系統(tǒng)的空間分辨力要求也越來越高，現(xiàn)有系統(tǒng)的空間分辨力難以滿足需要高分辨力成像的場合。本文利用當(dāng)前迅速發(fā)展的X射線實時成像技術(shù)和光學(xué)微掃描技術(shù)，研究低成本高性能的高分辨力光學(xué)微掃描X射線成像系統(tǒng)。
　　首先，提出并設(shè)計了一種帶有微掃描裝置的X射線實時成像系統(tǒng)，該系統(tǒng)通過壓電陶瓷驅(qū)動X射線平板探測器實現(xiàn)高精度的微

2、掃描。分析了微掃描的工作原理，詳細給出了微掃描器相關(guān)的參數(shù)設(shè)計、系統(tǒng)微位移容差，并與現(xiàn)有的X射線成像系統(tǒng)實現(xiàn)了一體化設(shè)計。
　　其次，針對X射線實時成像系統(tǒng)的成像特點，研究了一種適用于該系統(tǒng)的精度高、實時性好的亞像素級頻域圖像配準技術(shù)。給出了圖像配準方法的原理、流程及具體步驟。最后針對不同算法進行了仿真研究，，結(jié)果表明改算法有效性地將X射線圖像配準的精度提高到亞像素級，為后續(xù)的超分辨力重建奠定基礎(chǔ)。
　　最后，針對X射線序列

3、圖像幀間的誤差，將一種考慮到配準參數(shù)和點擴散函數(shù)的估計誤差以及在低分辨力序列圖像中的加性高斯噪聲的圖像超分辨力重建算法應(yīng)用于微掃描X射線實時成像系統(tǒng)。根據(jù)低分辨力圖像的可靠性和正則化參數(shù)對其進行自適應(yīng)加權(quán)進而進行超分辨力重建。該方法可利用采集的欠采樣圖像獲得高分辨力過采樣圖像，系統(tǒng)空間分辨力得到提高。
　　本文設(shè)計了帶有微掃描裝置的X射線實時成像系統(tǒng)，對高分辨力光電成像系統(tǒng)的設(shè)計，具有重要的參考價值。通過進一步的硬件化，可望得到高