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1、鐵電體是當(dāng)今一類(lèi)極為重要的功能材料。然而目前應(yīng)用較為廣泛的鐵電材料通常含鉛量較高,這對(duì)環(huán)境和人類(lèi)健康是一致命威脅,因此無(wú)鉛鐵電材料的開(kāi)發(fā)與研究成為焦點(diǎn)。鈦酸鉍鈉(NBT)具有較高的室溫居里溫度和強(qiáng)鐵電性,被認(rèn)為是一種有潛力的無(wú)鉛鐵電材料。隨著微電子集成工藝的快速發(fā)展,功能材料的研究由塊體轉(zhuǎn)向薄膜,而目前對(duì)于NBT的研究主要集中于塊體材料,對(duì)其薄膜的研究較少,這主要是因?yàn)槠浔∧げ牧先源嬖谝恍┎蛔?,具體表現(xiàn)為織構(gòu)度較差、晶化溫度過(guò)高、剩余極
2、化較低、漏電流較大和極化較難反轉(zhuǎn)。相比于純的NBT,由NBT和鈦酸鉍鉀(KBT)組成的固溶體(NKBT)顯示出增強(qiáng)的性能,成為無(wú)鉛高性能鐵電材料的研究熱點(diǎn)。
本文利用溶膠凝膠/旋涂技術(shù)成功制備了NKBT薄膜,主要針對(duì)NKBT薄膜上述缺陷展開(kāi)一系列研究,以期能優(yōu)化其性能。論文主要探索了熱處理溫度對(duì)NKBT薄膜晶化行為的影響,結(jié)果表明隨熱解溫度和退火溫度的升高,NKBT薄膜的晶化程度變得更加完全;還研究了組分對(duì)(Pb1-x-yLa
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